上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)李春华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)申请的专利一种晶圆盒污染物清洗装置及设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223264455U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422479705.8，技术领域涉及：B08B9/20；该实用新型一种晶圆盒污染物清洗装置及设备是由李春华;郝萍;高一鸣;常燕;王勇;曹建雄设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒污染物清洗装置及设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆盒污染物清洗装置及设备，其包括底座、第一旋转支架、第二旋转支架、固定支架、第一旋转驱动件、第二旋转驱动件以及第三旋转驱动件，固定支架内设置有用于容置晶圆盒的容置腔，第一旋转驱动件驱动第一旋转支架绕第一水平方向旋转，第二旋转驱动件驱动第二旋转支架绕相对于第一水平方向垂直的第二水平方向旋转，第三旋转驱动件驱动固定支架绕相对于第一水平方向和第二水平方向均垂直的竖直方向旋转；晶圆盒可被驱动着同时绕三个相互垂直的方向旋转，以便晶圆盒内的提取液能够以等进度方式与晶圆盒的6个内壁面接触，实现全方位、无死角的接触，充分提取晶圆盒内表面的污染物，实现晶圆盒内表面的标准自动化地全面萃取清洗。
本实用新型一种晶圆盒污染物清洗装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒污染物清洗装置，其特征在于，包括底座、第一旋转支架、第二旋转支架、固定支架、第一旋转驱动件、第二旋转驱动件以及第三旋转驱动件，所述固定支架内设置有用于容置晶圆盒的容置腔，所述第一旋转支架通过所述第一旋转驱动件转动安装在所述底座上，所述第一旋转驱动件被配置为驱动所述第一旋转支架相对所述底座旋转，所述第二旋转支架通过所述第二旋转驱动件转动安装在所述第一旋转支架上，所述第二旋转驱动件被配置为驱动所述第二旋转支架相对所述第一旋转支架旋转，所述固定支架通过所述第三旋转驱动件转动安装在所述第二旋转支架上，所述第三旋转驱动件被配置为驱动所述固定支架相对所述第二旋转支架旋转； 其中，所述第一旋转支架绕第一水平方向旋转，所述第二旋转支架绕相对于所述第一水平方向垂直的第二水平方向旋转，所述固定支架绕相对于所述第一水平方向和所述第二水平方向均垂直的竖直方向旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)，其通讯地址为：200031 上海市静安区长乐路1226号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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