北京晶亦精微科技股份有限公司黄坤获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利前推式夹持机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273240U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422483068.1，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型前推式夹持机械手是由黄坤;史霄;李伟;尹影设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本前推式夹持机械手在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体夹具工装技术领域，公开了一种前推式夹持机械手，以解决执行机构运行过程中产生的粉尘污染和有机物污染降低晶圆良品率的问题。该前推式夹持机械手包括安装基座、动力连杆、滑动件以及动力波纹管。安装基座沿第一直线方向设有传动通孔，动力连杆部分插设于传动通孔内。沿第一直线方向，滑动件位于传动通孔的一侧，且动力连杆靠近滑动件的一端与滑动件固定连接。沿第一直线方向，在安装基座与滑动件之间，动力连杆插设于动力波纹管内，且动力波纹管的两端与安装基座和滑动件密封连接。本申请提供的前推式夹持机械手用于夹持晶圆等预设物件。
本实用新型前推式夹持机械手在权利要求书中公布了：1.一种前推式夹持机械手，其特征在于，包括： 安装基座10，所述安装基座10沿第一直线方向设有传动通孔11； 动力连杆31，所述动力连杆31部分插设于所述传动通孔11内； 滑动件20，沿所述第一直线方向，所述滑动件20位于所述传动通孔11的一侧，且所述动力连杆31靠近所述滑动件20的一端与所述滑动件20固定连接； 以及动力波纹管41，沿所述第一直线方向，在所述安装基座10与所述滑动件20之间，所述动力连杆31插设于所述动力波纹管41内，且所述动力波纹管41的两端与所述安装基座10和所述滑动件20密封连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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