立谛微真空系统(湖北)有限公司黄金道获国家专利权
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龙图腾网获悉立谛微真空系统(湖北)有限公司申请的专利一种带旁通管路的抽真空分子泵机组获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223270142U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422433587.7,技术领域涉及:F04B41/06;该实用新型一种带旁通管路的抽真空分子泵机组是由黄金道;饶建文设计研发完成,并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带旁通管路的抽真空分子泵机组在说明书摘要公布了:本实用新型提供的一种带旁通管路的抽真空分子泵机组,涉及真空泵技术领域,该分子泵机组包括分子泵和前级泵;分子泵顶部设有过渡气筒,过渡气筒与分子泵的进气口相连,过渡气筒上设有连接口和旁通接口,所述旁通接口与前级泵相连。本实用新型的有益效果为:该分子泵机组的前级泵可以预先对分子泵上的过渡气筒内的过渡腔进行抽真空,这样可以在过渡腔真空度达到分子泵所需真空度后直接启动分子泵从而省去了工艺腔体抽空的时间和分子泵加速减速的启动停止时间,从而提高了整个系统的抽气效率,延长分子泵的使用寿命。并且前级泵还可预先抽出待抽真空装置内的污染物,防止待抽真空装置内的污染物进入分子泵内,确保分子泵在安全的工况下运行。
本实用新型一种带旁通管路的抽真空分子泵机组在权利要求书中公布了:1.一种带旁通管路的抽真空分子泵机组,其特征在于:包括分子泵和前级泵; 所述分子泵顶部设有过渡气筒,过渡气筒内空腔为过渡腔,所述过渡气筒与所述分子泵的进气口相连,所述过渡气筒上设有连接口和旁通接口,所述连接口用于连接待抽真空装置; 所述前级泵设有入口管,所述旁通接口上连接有旁通管,所述旁通管一端连接在所述旁通接口上,另一端连接在所述入口管上,所述分子泵的出气口上设有抽气连接管,所述抽气连接管连接所述分子泵的出气口和所述前级泵上的入口管。
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