大连皓宇电子科技有限公司李玉慧获国家专利权
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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种晶圆搬运机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273263U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422400128.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆搬运机械手是由李玉慧;张正中;滕文聪;赵越设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆搬运机械手在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆搬运机械手，包括：取片叉、摆臂部、转盘、基座法兰、伸缩驱动装置和旋转驱动装置；所述转盘转动设置于所述基座法兰上，所述摆臂部安装在转盘上，所述旋转驱动装置能够驱动转盘转动，所述伸缩驱动装置能够驱动摆臂部动作，使所述摆臂部带动所述取片叉伸展或者收缩；所述取片叉上设有放置晶圆的卡槽，所述取片叉远离摆臂部的一端设有真空吸盘，所述取片叉内部设有与真空吸盘连接的真空气道。以在不扩展晶圆搬运机械手的行程范围和增加取片叉长度的前提下，使设有晶圆缓存结构的化学气相沉积设备内的晶圆能够正常搬运。
本实用新型一种晶圆搬运机械手在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运机械手，其特征在于，包括：取片叉1、摆臂部2、转盘3、基座法兰4、伸缩驱动装置5和旋转驱动装置6； 所述转盘3转动设置于所述基座法兰4上，所述摆臂部2安装在转盘3上，所述旋转驱动装置6能够驱动转盘3转动，所述伸缩驱动装置5能够驱动摆臂部2动作，使所述摆臂部2带动所述取片叉1伸展或者收缩； 所述取片叉1上设有放置晶圆的卡槽，所述取片叉1远离摆臂部2的一端设有真空吸盘104，所述取片叉1内部设有与真空吸盘104连接的真空气道。
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