江苏鲁汶仪器股份有限公司胡少谦获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种压环组件、承托装置及离子束设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223273254U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422324936.1,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种压环组件、承托装置及离子束设备是由胡少谦;桑康;陈龙保;胡冬冬;冯家莉;刘朋飞;许开东设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压环组件、承托装置及离子束设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开的一种压环组件、承托装置及离子束设备,包括压环主体和压环导柱,所述压环主体具有导柱固定孔,所述压环导柱的第一端通过滑动件连接于所述导柱固定孔,所述导柱固定孔为条形孔,所述滑动件在所述导柱固定孔内,且与所述导柱固定孔之间具有变形冗余间隙。本实用新型提供的压环组件,压环导柱的第一端通过滑动件连接于导柱固定孔内,且导柱固定孔为条形孔,使得在压环主体和压环导柱受热变形,且二者的变形量不同时,滑动件能够在条形孔内移动,以抵消压环主体和压环导柱的变形量差异,从而避免了因应力导致的断裂问题。
本实用新型一种压环组件、承托装置及离子束设备在权利要求书中公布了:1.一种压环组件,其特征在于,包括压环主体(110)和压环导柱(120),所述压环主体(110)具有导柱固定孔,所述压环导柱(120)的第一端通过滑动件连接于所述导柱固定孔,所述导柱固定孔为条形孔,所述滑动件在所述导柱固定孔内,且与所述导柱固定孔之间具有变形冗余间隙。
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