安徽华远装备科技有限公司张永获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽华远装备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜真空室用防护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223268747U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422232846.X，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种溅射镀膜真空室用防护装置是由张永;叶显飞;张军;曾德春设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射镀膜真空室用防护装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种溅射镀膜真空室用防护装置，包括真空室腔体，所述真空室腔体的一侧固设有保护罩，所述保护罩与真空室腔体之间设有透光玻璃，所述透光玻璃嵌设在所述保护罩的内部，所述保护罩远离所述真空室腔体的一侧设有通孔，所述通孔的孔径等于所述真空室腔体的孔径，所述真空室腔体远离所述保护罩的一侧固设有屏蔽筒，所述屏蔽筒与所述真空室腔体连通设置，所述真空室腔体远离屏蔽筒的一侧固设有安装架，所述安装架上固设有激光传感器，所述激光传感器的发射端与所述通孔共轴线设置，本方案设计的屏蔽筒，不仅可以消除复杂环境下对电气信号检测的影响，还具有强度高、绝缘、免维护等特点。
本实用新型一种溅射镀膜真空室用防护装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜真空室用防护装置，包括真空室腔体1，其特征在于，所述真空室腔体1的一侧固设有保护罩2，所述保护罩2与真空室腔体1之间设有透光玻璃3，所述透光玻璃3嵌设在所述保护罩2的内部，所述保护罩2远离所述真空室腔体1的一侧设有通孔4，所述通孔4的孔径等于所述真空室腔体1的孔径，所述真空室腔体1远离所述保护罩2的一侧固设有屏蔽筒5，所述屏蔽筒5与所述真空室腔体1连通设置，所述真空室腔体1远离屏蔽筒5的一侧固设有安装架6，所述安装架6上固设有激光传感器7，所述激光传感器7的发射端与所述通孔4共轴线设置。
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