重庆芯联微电子有限公司黄耀贤获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利晶圆预清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273219U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422230033.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆预清洗装置是由黄耀贤;黄俊宪设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆预清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆预清洗装置，通过在反应腔室外设置远程等离子体源，反应腔室内设置有屏蔽罩，屏蔽罩外表面上形成有污染颗粒，屏蔽罩内设置有气体管道，远程等离子体源和屏蔽罩内的气体管道连通，远程等离子体源用于产生清洁气体等离子体，气体管道用于传输清洁气体等离子体，气体管道将远程等离子体源产生的清洁气体等离子体传输至屏蔽罩外表面以清洁屏蔽罩外表面的污染颗粒，避免污染颗粒脱落至晶圆上，提高了晶圆的良率；以及本实用新型中的清洁气体等离子体直接对屏蔽罩外表面的污染颗粒进行清洁，无需将反应腔室打开，避免了在反应腔室内引入外界污染，且本实用新型中清洁时间远远低于现有技术中的维护时间，提高了生产率。
本实用新型晶圆预清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆预清洗装置，其特征在于，包括反应腔室和远程等离子体源，所述反应腔室内设置有屏蔽罩，所述屏蔽罩外表面上形成有污染颗粒，所述屏蔽罩内设置有气体管道，所述远程等离子体源和所述屏蔽罩内的气体管道连通，所述远程等离子体源用于产生清洁气体等离子体，所述气体管道用于传输所述清洁气体等离子体，所述气体管道将所述远程等离子体源产生的所述清洁气体等离子体传输至所述屏蔽罩外表面以清洁所述屏蔽罩外表面的所述污染颗粒。
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