新创电子技术(东莞)有限公司万琳旭获国家专利权
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龙图腾网获悉新创电子技术(东莞)有限公司申请的专利用于半导体碱蚀刻的转动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223273259U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421936439.0，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型用于半导体碱蚀刻的转动机构是由万琳旭设计研发完成，并于2024-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体碱蚀刻的转动机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体蚀刻技术领域，具体涉及用于半导体碱蚀刻的转动机构，包括基座，基座的上表面设置有升降装置，升降装置连接转动装置，转动装置输出轴与固定槽连接，固定槽对称设置在转动装置输出端的两侧。本实用新型克服了现有技术的不足，通过设置固定槽以转动装置输出端轴线为基准对称，两个对称固定槽绕转动装置输出端转动，固定槽各点处碱液受到相同的搅拌作用，各点保持碱液浓度一致，避免了固定槽以自身为轴转动时转动轴沿线附近碱液浓度与边缘存在差异的问题，有利于提高半导体碱蚀刻各点均匀性，进一步提高产品质量。
本实用新型用于半导体碱蚀刻的转动机构在权利要求书中公布了：1.用于半导体碱蚀刻的转动机构，其特征在于：包括基座1，所述基座1的上表面设置有升降装置2，所述升降装置2连接转动装置3，所述转动装置3输出轴与固定槽4连接，所述固定槽4对称设置在所述转动装置3输出端的两侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人新创电子技术(东莞)有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇长安兴发南路32号1号楼108室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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