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苏州方昇光电股份有限公司张信获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州方昇光电股份有限公司申请的专利一种坩埚结构及镀膜系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223268733U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421786041.3,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种坩埚结构及镀膜系统是由张信;金政泽设计研发完成,并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种坩埚结构及镀膜系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种坩埚结构及镀膜系统,包括坩埚,其开口端开设有第一环形凹槽,坩埚的内壁上设置有台阶;喷嘴盖板,其盖合于坩埚的开口端,喷嘴盖板上开设有第二环形凹槽,第一环形凹槽和第二环形凹槽组成密封槽,且喷嘴盖板上还设置有圆形凹槽,圆形凹槽与台阶之间形成容置位;密封条,其嵌合于密封槽中;金属板,其设置于容置位中,金属板包括板体及弯折部,板体与台阶贴合,弯折部与圆形凹槽的底面紧密接触。本坩埚结构设置有金属板使坩埚内的气体分子需要绕过金属板并走过较长的路径才能外溢,形成第一道密封结构;同时坩埚和喷嘴盖板之间的密封槽和密封条相互嵌合形成第二道密封结构,能够确保整个结构的密封性,保证产品最终的质量。

本实用新型一种坩埚结构及镀膜系统在权利要求书中公布了:1.一种坩埚结构,其特征在于,包括: 坩埚,所述坩埚的开口端开设有第一环形凹槽,所述坩埚的内壁上设置有靠近其开口端的台阶; 喷嘴盖板,所述喷嘴盖板盖合于所述坩埚的开口端,所述喷嘴盖板靠近所述坩埚的一面上开设有与所述第一环形凹槽的位置相对应的第二环形凹槽,所述第一环形凹槽和第二环形凹槽组成密封槽,且所述喷嘴盖板靠近坩埚的一面上还设置有圆形凹槽,所述圆形凹槽与所述台阶之间形成容置位; 密封条,所述密封条嵌合于所述密封槽中; 金属板,所述金属板设置于所述容置位中,所述金属板为边缘弯折的圆形板结构,包括板体及沿所述板体的边缘延伸的弯折部,所述板体上开设有中心通孔,所述板体远离所述弯折部的一面与所述台阶的台阶面贴合,所述弯折部远离所述板体的一端与所述圆形凹槽的底面紧密接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州方昇光电股份有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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