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山东华达新材料有限公司赵光燮获国家专利权

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龙图腾网获悉山东华达新材料有限公司申请的专利一种电子级多晶硅用等静压石墨件的纯化工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117285037B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311428964.1,技术领域涉及:C01B32/215;该发明授权一种电子级多晶硅用等静压石墨件的纯化工艺是由赵光燮;鞠德胜;王敏;袁海云;李炳坤;刘本庆设计研发完成,并于2023-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种电子级多晶硅用等静压石墨件的纯化工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种电子级多晶硅用等静压石墨件的纯化工艺,具体涉及等静压石墨件纯化技术领域,包括具体步骤:S1、抗氧化性处理,将等静压石墨件放入加热炉中加热;S2、浸泡处理;S3、清洗处理;S4、纯化材料制备;S5、石墨件涂布,石墨件放置在清洁干燥的工;S6、高温纯化处理。本发明通过炭黑填充聚合物为钛酸酯偶联剂、硅烷偶联剂、铝酸酯偶联剂、炭黑粉混合,形成抗氧化浸泡混合物,能够在整个电子级多晶硅用等静压石墨件外壁形成一层防腐抗氧化层,而且保持电子级多晶硅用等静压石墨件具有优异的导电性能,电子级多晶硅用等静压石墨件耐用性有效提高。

本发明授权一种电子级多晶硅用等静压石墨件的纯化工艺在权利要求书中公布了:1.一种电子级多晶硅用等静压石墨件的纯化工艺,其特征在于:包括具体步骤如下: S1、抗氧化性处理,将等静压石墨件放入加热炉中加热,填充气瓶中的氦气进入到加热炉内,在2-10MPa压力下,保压5—10min后,加热到500-600℃保温5—10min,再升温到800-900℃保温10—25min; S2、浸泡处理,将处理后的石墨件浸泡在酸性溶液中,酸性溶液淹没石墨件,对酸性溶液加热至40-60℃,浸泡10—25min后,取出放置在碱性溶液内浸泡15—30min并加热40-60℃保温5—10min; S3、清洗处理,将石墨件浸泡在无水乙醇中,无水乙醇淹没石墨件,用软刷轻轻擦洗石墨件表面,贴合在石墨件表面位置处擦洗5—10min,擦洗次数为5—10次,去除表面的污垢和杂质,用干净的布擦干石墨件表面,确保表面无水渍和乙醇残留,石墨件放置在阴凉通风处晾干; S4、纯化材料制备,将钛酸钡70—80份、氧化铝5—15份、纳米氧化镁5—15份、纳米三氧化二铁20—35份、纳米碳酸钙5—20份、氮化硼5—10份、陶瓷纤维1—5份放置在搅拌釜内,搅拌釜以50-80℃,按照130-150rmin,搅拌5—10min后,滴加1—5份的无水乙醇,再加入聚酰亚胺树脂10—30份和炭黑填充聚合物,所述炭黑填充聚合物为钛酸酯偶联剂5—15份、硅烷偶联剂5—10份、铝酸酯偶联剂10—30份、炭黑粉5—10份以50-80rmin,加热至60-80℃,再加入环氧树脂5—10份混合30—40min,取出冷却至35-40℃备用,以150-180rmin,搅拌10—20min,形成抗氧化浸泡混合物; S5、石墨件涂布,石墨件放置在清洁干燥的工件表面涂布抗氧化浸泡混合物,涂布5—10次每次厚度为0.3—0.6毫米,涂布后固化,冷却后放置5—10min; S6、高温纯化处理,将固化后的石墨件外表面撒上银粉,利用冲压模具石墨件外表面冲压成型,成型后石墨件放入到高温炉中,填充入氦气后保持高温炉内压力为5-10MPa,温度升至200-380℃加热保温30—40min,取出待其冷却为室温30—35min封装。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山东华达新材料有限公司,其通讯地址为:274900 山东省菏泽市巨野县凤凰办玉山路与麟台路交汇处向南188米路西;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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