郑州磨料磨具磨削研究所有限公司李国伟获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州磨料磨具磨削研究所有限公司申请的专利一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117001555B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311041652.5,技术领域涉及:B24D5/04;该发明授权一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法是由李国伟;于鸿飞;张毅;陈晓强设计研发完成,并于2023-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法,属于超硬材料砂轮技术领域,所述超硬材料倒角砂轮外圆至基体从外向内分布有三层结构:磨削层含有磨料进行衬底晶片磨削加工;增强层用于组成核心骨架把持磨削层和缓冲层,具有较高的抗折强度和拉伸强度,防止磨削层大块碎裂及脱落;缓冲层用于形成网状结构串联磨削层和增强层,具有一定弹性,可降低工件磨削中磨削力冲击;本发明的砂轮结构简单,操作简便;可对半导体衬底晶片进行低损伤加工,降低超硬材料倒角砂轮和半导体衬底晶片接触时的刚性,加工效果好,被加工后衬底晶片损伤层崩口尺寸可以达到0.02mm以内。
本发明授权一种多层超硬材料倒角砂轮及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种多层超硬材料倒角砂轮的制备方法,其特征在于,所述多层超硬材料倒角砂轮,包括基体和砂轮层,所述砂轮层从外向内包括磨削层、增强层和缓冲层,从外向内各层环宽的范围为:磨削层3~6mm,增强层1~2mm,缓冲层0.3~0.6mm, 所述增强层由以下重量份的原料组成:氧化铝50-60份,铜粉30-40份,氧化铜4-6份,氧化钛4-6份,所述缓冲层由以下体积份的原料组成:环氧树脂80-90份,锡粉5-15份,碳化硅3-5份; 包括如下步骤: 1)按比例取氧化铜、氧化钛和氧化铝,加入到混料罐内,充入保护气体并密封,混料均匀; 2)将步骤1)所得的混合料烧结,升温至1000-1200℃并保温8-12h得到氧化铝陶瓷料; 3)将步骤2)氧化铝陶瓷料敲碎,加入氧化锆球,装入球磨罐中进行球磨,球磨转速为300-350rmin;球磨时间为4-8h,球磨后即得到氧化铝陶瓷粉; 4)将步骤3)所得的氧化铝陶瓷粉过组合筛网,取粉末粒度在20μm-30μm范围内的氧化铝陶瓷粉末; 5)向步骤4)所得过筛后氧化铝陶瓷粉末加入铜粉,转入到混料罐内,充入保护气体并密封,混料均匀得到混合料; 6)将步骤5)所得的混合料装模,压制至增强层需要的尺寸,得到增强层冷压毛坯环; 7)将步骤6)所得的毛坯环在氮气氛围下烧结,升温至900-1100℃并保温2-4h,得到增强层烧结环; 8)取环氧树脂、锡粉和碳化硅,加入到混料罐内充入保护气体并密封,混料均匀得到复合混合料,其中保护气体为氮气; 9)取磨削层原料,加入到充满保护气体的混料罐内并密封,混料均匀; 10)将步骤7)所得的增强层烧结环装入需要的模具,在增强层内侧投入步骤8)所得的复合混合料,进行一次压制,在增强层外侧投入步骤9)的磨削层混合料,压制得到坯料; 11)将步骤10坯料烧结,充入氢气作为保护气,升温至400-500℃并保温1-2h,保温结束后即得砂轮各层;将砂轮各层粘接在砂轮基体上,即得砂轮毛坯;将砂轮毛坯按照要求加工到需要的尺寸精度,制备砂轮半成品;将砂轮半成品进行检验并做动平衡,达到精度要求后即为多层超硬材料倒角砂轮。
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