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清华大学深圳国际研究生院杨诚获国家专利权

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龙图腾网获悉清华大学深圳国际研究生院申请的专利一种易施工的高导热多孔热界面材料及制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116875978B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310874485.6,技术领域涉及:C23C26/02;该发明授权一种易施工的高导热多孔热界面材料及制作方法是由杨诚设计研发完成,并于2023-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种易施工的高导热多孔热界面材料及制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种易施工的高导热多孔热界面材料及制作方法,所述制作方法包括如下步骤:S1、以多孔泡沫金属膜作为基底,对其进行表面清洁;S2、将作为连接层的低熔点金属和或合金熔融液化;S3、通过接触转移的方式,将所述低熔点金属和或合金分别转移并负载在所述基底的上表面和下表面上且与所述多孔泡沫金属膜形成共晶合金,制得具有三明治结构的多孔泡沫金属基的多孔热界面材料。本发明能够较低温度下实现高导热和低热应力界面互连,降低工艺温度,从而提升效率和良率。

本发明授权一种易施工的高导热多孔热界面材料及制作方法在权利要求书中公布了:1.一种易施工的高导热多孔热界面材料的制作方法,其特征在于,包括如下步骤: S1、以多孔泡沫金属膜作为基底,对其进行表面清洁; S2、将作为连接层的低熔点金属和或合金熔融液化; S3、通过接触转移的方式,将所述低熔点金属和或合金分别转移并负载在所述基底的上表面和下表面上且与所述多孔泡沫金属膜形成共晶合金并避免液化的低熔点金属渗入多孔泡沫金属膜的孔内,制得具有三明治结构的多孔泡沫金属基的多孔热界面材料;其中: 所述步骤S3包括: S31、在所述基底的第一面上用刮刀铺展第一层熔融态的低熔点金属和或合金,冷却,使得第一层熔融态的低熔点金属和或合金转移到所述基底的所述第一面; S32、在所述基底的第二面上用刮刀铺展第二层熔融态的低熔点金属和或合金,冷却,使得第二层熔融态的低熔点金属和或合金转移到所述基底的所述第二面,得到所述具有三明治结构的多孔泡沫金属基的多孔热界面材料;所述第一面是所述基底的上表面和下表面中的一者,所述第二面是所述基底的上表面和下表面中的另一者; 通过控制步骤S31和步骤S32中刮刀的速度和角度来避免液化的低熔点金属和或合金渗入多孔泡沫金属的孔内; 或者所述步骤S3,包括: S3-1、在易剥离的第一模具上铺展第一层熔融态的低熔点金属和或合金,并通过辊压形成第一层低熔点金属和或合金箔; S3-2、在易剥离的第二模具上铺展第二层熔融态的低熔点金属和或合金,并通过辊压形成第二层低熔点金属和或合金箔; S3-3、将所述基底置于所述第一层低熔点金属和或合金箔和所述第二层低熔点金属和或合金箔之间,通过热压而将所述第一层低熔点金属和或合金箔和所述第二层低熔点金属和或合金箔转移到所述基底的上表面和下表面,得到所述具有三明治结构的多孔泡沫金属基的多孔热界面材料; 通过控制步骤S3-3中热压的温度、下压压强和接触时间来避免液化的低熔点金属和或合金渗入多孔泡沫金属的孔内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人清华大学深圳国际研究生院,其通讯地址为:518055 广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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