无锡市恒利弘实业有限公司梁振获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡市恒利弘实业有限公司申请的专利一种碳化硅基材抛光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116657231B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310608067.2,技术领域涉及:C25F3/16;该发明授权一种碳化硅基材抛光方法是由梁振设计研发完成,并于2023-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅基材抛光方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种碳化硅基材抛光方法,采用电化学+化学机械抛光处理碳化硅表面,通过阳极电化学氧化和阴极活性氧氧化,有效的提高碳化硅表面的氧化层程度,进行提高碳化硅的抛光效果。
本发明授权一种碳化硅基材抛光方法在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅基材电化学机械抛光方法,其特征在于包括如下步骤: (1)碳化硅基材表面预处理; (2)以碳化硅为工作电极,石墨材料为对电极,置于电解抛光液中,进行电解抛光反应; (3)氮气吹扫干燥处理; 其中所述电解抛光液包括如下成分: 20-30wt%20-40nm氧化铝研磨介质; 5-7wt.%Na2SO4; 0.2-0.3wt.%聚氧丙烯甘油醚; 0.1-0.2wt.%α-烯基磺酸盐; 2-3wt%丙二醇; 去离子水; 氧气通入量0.2-0.3m3h; 电解抛光电源为双向脉冲电源。
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