常州大学夏新栋获国家专利权
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龙图腾网获悉常州大学申请的专利一种晶圆检测台的探针位置控制方法、装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116500402B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310234864.9，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权一种晶圆检测台的探针位置控制方法、装置及系统是由夏新栋;沈绍博;兰昊;汤芷涵;黄怡;黄振涛;杨长春;杨彪设计研发完成，并于2023-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检测台的探针位置控制方法、装置及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆检测台的探针位置控制方法、装置及系统，方法包括：连续测量探针的位置信息，以预设的时间间隔对位置信息进行采样，得到采样信号，每得到一个新的采样信号，执行一次控制信号获取步骤；控制信号获取步骤包括：S1，将新的采样信号经过零阶保持器保持，得到采样数据xk；S2，将xk输入离散连续观测器，得到连续的估计位置信号x；S3，将x和探针期望位置信号r输入位置跟踪控制器，得到位置跟踪控制信号u；S4，将x和u作为扰动补偿器的输入，得到扰动补偿控制信号w；S5，将u和w相加，作为探针位置的控制输入信号。本发明能克服模型不确定性和外界干扰等因素的影响，提高探针运动位置的控制精度，且只需要用到探针位置的采样信号，更方便于工程应用。
本发明授权一种晶圆检测台的探针位置控制方法、装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测台的探针位置控制方法，其特征在于， 包括： 连续测量晶圆测试台上的探针的位置信息，以预设的时间间隔对所述位置信息进行采样，得到采样信号，每得到一个新的采样信号，执行一次控制信号获取步骤；所述控制信号获取步骤包括： S1，将新的采样信号经过零阶保持器保持，得到采样数据xk； S2，将采样数据xk输入离散连续观测器，得到连续的估计位置信号x； S3，将估计位置信号x和预设的探针期望位置信号r输入位置跟踪控制器，得到位置跟踪控制信号u； S4，将估计位置信号x和位置跟踪控制信号u作为扰动补偿器的输入，得到扰动补偿控制信号w； S5，将位置跟踪控制信号u和扰动补偿控制信号w相加，作为探针位置的控制输入信号，实现对探针运动位置的控制。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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