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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至微半导体有限公司申请的专利一种晶圆侦测模组及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116169061B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310099591.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆侦测模组及方法是由蒋渊;邓信甫;吕芳毅;刘传龙;卢证凯设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆侦测模组及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆侦测模组，包括：晶圆盒承载平台，设置有若干中间镂空的晶圆盒承载位，用于承载晶圆盒；晶圆侦测装置，包括：接收集成组件和光源集成组件，所述接收集成组件和光源集成组件分别位于晶圆盒承载平台底部、对应镂空位置的两侧；其中，所述接收集成组件整体升降移动和旋转摆动，以接收并转向传导光线，所述光源集成组件整体升降移动和旋转摆动，以集成所述接收集成组件传导的光线，并通过所述镂空位置对晶圆盒内晶圆片进行光学扫描，本发明还提供了一种晶圆侦测方法。本发明提供的一种晶圆侦测模组及方法可对晶圆盒与晶圆片三维位置或动作是否偏移、晶圆片是否发生破损进行侦测。

本发明授权一种晶圆侦测模组及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆侦测模组，其特征在于，包括： 晶圆盒承载平台（1），设置有若干中间镂空的晶圆盒承载位（2），用于承载晶圆盒； 晶圆侦测装置（3），包括：接收集成组件（31）和光源集成组件（32），所述接收集成组件（31）和光源集成组件（32）分别位于晶圆盒承载平台（1）底部、对应镂空位置的两侧； 其中，所述接收集成组件（31）整体升降移动和旋转摆动，以接收并转向传导光线，所述光源集成组件（32）整体升降移动和旋转摆动，以集成所述接收集成组件（31）传导的光线，并通过所述镂空位置对晶圆盒内晶圆片进行光学扫描； 所述光源集成组件（32）包括：可进行微量角度旋转的导光片（321），光栅和滤光片（322）及快门和光圈结构（323），其中，所述导光片（321）设置在入射光线的直射位置，所述光栅和滤光片（322）垂直所述导光片（321）所在位置设置，所述快门和光圈结构（323）位于所述光栅和滤光片（322）之上，且与所述镂空位置对应；光线经所述导光片（321）传导后，经光栅和滤光片（322）过滤后，经由快门和光圈结构（323）对晶圆片进行弧形扫描； 所述接收集成组件（31）包括沿光线入射方向依次设置的第一弯月负透镜（311）、双凸正透镜（312）及第二弯月负透镜（313）； 还包括探测集成组件，用于探测晶圆片扫描后的光线，对晶圆盒内晶圆片进行成像。

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