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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利器件面形检测方法、装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116295096B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310098757.8，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权器件面形检测方法、装置及系统是由李文钰;范玉娇;韩昱设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本器件面形检测方法、装置及系统在说明书摘要公布了：本申请涉及器件质量检测技术领域，提供一种器件面形检测方法、装置及系统，该方法首先获取待检测器件的多个检测区域的波前相位的检测结果；然后基于每个重叠区域对应的检测结果，在第一方向上对多个检测区域的检测结果进行拼接，并对第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到待检测器件的面形检测结果。该方法利用每个重叠区域对应的检测结果，先后在两个方向上进行拼接，可以得到待检测器件全幅面的面形检测结果，进而可以实现对全幅面的光栅制造误差进行标定，为后续补偿工作的顺利进行提供保障。而且，该方法先后在两个方向上进行拼接，可以大大减少拼接次数，提高拼接效率，进而提高面形检测效率。

本发明授权器件面形检测方法、装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种器件面形检测方法，其特征在于，包括： 获取待检测器件的多个检测区域的波前相位的检测结果；所述多个检测区域与所述待检测器件的多个面形子区域一一对应，所述待检测器件的任意两个相邻检测区域之间均存在重叠区域； 基于每个重叠区域对应的所述检测结果，在第一方向上对所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，并对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果； 所述第一方向垂直于所述第二方向； 所述基于每个重叠区域对应的所述检测结果，在第一方向上对所述多个检测区域的所述检测结果进行拼接，并对所述第一方向的拼接结果在第二方向上进行拼接，得到所述待检测器件的面形检测结果，包括： 基于所述第一方向对应的预设权重曲线，对所述第一方向上每个重叠区域对应的所述检测结果进行加权求和，得到所述第一方向的拼接结果； 基于所述第二方向对应的预设权重曲线，对所述拼接结果在所述第二方向上的重叠区域对应的所述检测结果进行加权求和，得到所述面形检测结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京华卓精科科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。