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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;合肥至微半导体有限公司申请的专利一种晶圆托篮输送装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313955B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310099608.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆托篮输送装置及方法是由李盼盼;孔昊;卢证凯;黄彧霈设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆托篮输送装置及方法在说明书摘要公布了：本发明一种晶圆托篮输送装置公开了输入传递平台、第一线性机器人、中转托架、导片托架和第二线性机器人，中转托架用于承载托篮在第一位置和第二位置之间移动，导片托架用于承载托篮在第三位置和第四位置之间移动，第二线性机器人用于在中转托架的第二位置和导片托架第三位置的之间转移托篮；第一线性机器人和第二线性机器人均沿第一方向往复移动，中转托架和所述导片托架均沿第二方向往复移动，本发明提供的一种晶圆托篮输送装置，托篮的移动路径为“U”形，减少了托篮输送系统所占用的空间，减少了空气杂质和灰尘对晶圆的污染；本发明还公开了一种晶圆托篮输送方法，减少了空置的托篮对晶圆输送的干扰，提高了晶圆的传输效率。

本发明授权一种晶圆托篮输送装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆托篮输送装置，其特征在于，包括： 输入机构（1），包括输入传递平台（11）和第一线性机器人（12），所述输入传递平台（11）设置有若干托篮承载位（110），所述第一线性机器人（12）用于承载载有晶圆的托篮（10）沿所述输入传递平台在托篮承载位（110）间移动； 中转机构（2），包括中转托架（21），用于承载托篮（10）在第一位置和第二位置之间移动，其中，所述第一位置对接所述输入传递平台（11），用于承载第一线性机器人（12）转移的托篮（10），所述中转托架（21）在第一位置和第二位置之间的移动路径垂直于所述输入传递平台（11）； 导片机构（3），包括导片托架（31）和第二线性机器人（32），所述导片托架（31）用于承载托篮（10）在第三位置和第四位置之间移动，所述第二线性机器人（32）用于在中转托架（21）的第二位置和导片托架（31）第三位置的之间转移托篮（10）； 其中，所述第一线性机器人（12）和所述第二线性机器人（32）均沿第一方向往复移动，所述中转托架（21）和所述导片托架（31）均沿第二方向往复移动，所述第二方向和所述第一方向垂直； 还包括输出机构（4），所述输出机构（4）包括输出托架（41）、升降机（42）及背式传送机，所述输出托架（41）与中转托架（21）的第二位置对应，所述第二线性机器人（32）将导片后的托篮（10）移动至输出托架（41），所述输出托架（41）在升降机（42）的带动下上升进入背式传送机，进行托篮（10）卸载； 所述托篮（10）沿第一线性机器人（12）、中转托架（21）和第二线性机器人（32）的单向移动路径呈“U”形。

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