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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利基板交接机构及曝光台系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118483874B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310099563.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基板交接机构及曝光台系统是由蔡晨;王鹏;王鑫鑫;郎新科;杨博光;姜晓飞设计研发完成，并于2023-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板交接机构及曝光台系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，提供了一种基板交接机构及曝光台系统，所述基板交接机构包括：转动座、吸附组件、基座以及转动驱动件；所述转动座以可沿自身中轴线转动的方式安装于所述基座上，所述基座用于安装于曝光台系统的工作台上；所述吸附组件设置于所述转动座上用于吸附晶片；所述转动驱动件设置于所述基座上用于驱动所述转动座以自身中轴线为中心转动。如此配置，基板交接机构以及曝光系统，在补偿晶片上片的周向位置误差时，只需要适应性的驱动基板交接机构中的转动座转动即可，不需要驱动整个曝光系统整体转动，利于简化转动结构，提高投入产出比，且利于实现较高的转动精度。

本发明授权基板交接机构及曝光台系统在权利要求书中公布了：1.一种基板交接机构，其特征在于，所述基板交接机构与承片台形成一体，所述基板交接机构跟随承片台运动；所述基板交接机构包括：转动座、吸附组件、基座以及转动驱动件； 所述转动座以可沿自身中轴线为中心转动的方式安装于所述基座上，所述基座用于安装于曝光台系统的工作台上； 所述吸附组件设置于所述转动座上用于吸附晶片，所述吸附组件沿所述转动座的自身中轴线所在的方向相对承片台升降设置，且所述吸附组件以所述转动座的自身中轴线为中心可相对所述承片台转动，所述承片台用于放置晶片进行曝光； 所述转动驱动件设置于所述基座上用于驱动所述转动座以自身中轴线为中心转动； 所述转动驱动件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件设置于所述基座上，所述第二驱动件设置于所述转动座上，所述第一驱动件用于以非接触的方式对所述第二驱动件施以驱动力，所述驱动力使得所述第二驱动件沿与所述转动座的转动方向相切的设定方向直线运动，以通过第二驱动件的微小直线运动带动转动座实现较小的转动角度，进而补偿晶片的周向位置误差。

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