北京市春立正达医疗器械股份有限公司邓洪运获国家专利权
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龙图腾网获悉北京市春立正达医疗器械股份有限公司申请的专利一种医用生物梯度硬质涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116200702B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310010758.2,技术领域涉及:C23C14/06;该发明授权一种医用生物梯度硬质涂层及其制备方法是由邓洪运;岳术俊;刘雅卿;许奎雪;魏章利;岳术同设计研发完成,并于2023-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种医用生物梯度硬质涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种医用生物梯度硬质涂层及其制备方法,属于医疗技术领域。其包括依次层叠的Cr涂层、CrN涂层、TiCrN涂层、TiN涂层和TiNbN涂层。本发明在钴合金表面制备化学成分梯度变化硬质涂层,增强了膜层与基底的结合强度。
本发明授权一种医用生物梯度硬质涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种医用生物梯度硬质涂层的制备方法,用于制备一种医用生物梯度硬质涂层,医用生物梯度硬质涂层包括依次层叠的Cr涂层、CrN涂层、TiCrN涂层、TiN涂层和TiNbN涂层,其特征在于,通过磁控溅射技术实现,具体包括以下步骤: 步骤1,将Cr金属靶材、TiCr合金靶材、Ti金属靶材和TiNb合金靶材分别放置至磁控溅射沉积腔的对应舱室,并保持舱室门的开启,待镀层样品放置于磁控溅射沉积腔的样品架上; 步骤2,对磁控溅射沉积腔进行持续抽真空处理,真空抽至2×10-3Pa时,开启加热装置,使沉积腔温度升高至400℃; 步骤3,继续抽真空,当真空度达到1×10-4Pa时,设置温度为300℃,通入氩气100sccm,待温度降至300℃时,关闭氩气阀门,继续抽真空20min; 步骤4,向沉积腔通入氩气100sccm,持续30min; 步骤5,关闭氩气阀门,继续抽真空30min, 步骤6,重复步骤4至步骤5两次; 步骤7,氩气流量设置为80sccm,打开基体偏压电源,基体电压设置为150V,对样品表面进行清洗,清洗时间为20min,随后调节基体电压为200V,清洗30min; 步骤8,通入氩气30sccm,关闭TiCr合金靶材、Ti金属靶材和TiNb合金靶材的舱室,在电压为50~150V、压强为1~2Pa和靶材功率为150W的条件下,在基底表面沉积Cr膜层; 步骤9、向磁控溅射沉积腔通入氩气30sccm和氮气60sccm,在电压为50~150V、压强为1~2Pa和靶材功率为150W的条件下,沉积得到CrN膜层; 步骤10,关闭Cr金属靶材的舱室门,打开TiCr合金靶材的舱室门,在电压为50~150V、压强为1~2Pa和靶材功率为150W的条件下,沉积得到TiCrN膜层; 步骤11,关闭TiCr合金靶材的舱室门,打开Ti合金靶材的舱室门,在电压为50~150V、压强为1~2Pa和靶材功率为150W的条件下,沉积得到TiN膜层; 步骤12,关闭Ti金属靶材的舱室门,打开TiNb合金靶材的舱室门,在电压为50~150V、压强为1~2Pa和靶材功率为150W的条件下,沉积得到TiNbN膜层; 步骤13,关闭氮气阀门,降低温度至80℃以下,关闭氩气阀门,关闭真空系统,待冷却至室温,取出样品完成涂层。
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