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龙图腾网获悉浙江求是创芯半导体设备有限公司申请的专利外延设备中晶圆的传动装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313987B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211733132.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权外延设备中晶圆的传动装置是由曹建伟;沈文杰;潘文博;苏坤;张凌峰;汪婷;王明明设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本外延设备中晶圆的传动装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种外延设备中晶圆的传动装置，包括基座、升降模块、旋转模块和调节模块，调节模块中的机架用于承载传动装置的所有组件，以机架为支撑，调整组件通过调节升降模块的底座，实现基座在X轴、Y轴上的位置以及基座的水平度的调节。升降模块的升降轴和顶针实现晶圆的升降，升降模块的整体升降驱动块以底座为支撑，实现旋转模块的整体升降。旋转模块的旋转轴带动基座实现稳定的自转。本发明提供的外延设备中晶圆的传动装置能够使基座上的晶圆保持相对水平并持续、稳定的自转，以保证晶圆在外延过程中均匀地接触热场和工艺气体流场，有助于提高芯片外延层质量。

本发明授权外延设备中晶圆的传动装置在权利要求书中公布了：1.一种外延设备中晶圆的传动装置，其特征在于，包括： 基座1，所述基座1用于承载晶圆，所述基座1上设有若干通孔11； 升降模块3，升降模块3包括底座31、晶圆升降组件32、整体升降组件33，所述晶圆升降组件32和所述整体升降组件33均设在所述底座31上，所述晶圆升降组件32包括沿竖直方向延伸的升降轴321和设在所述升降轴321顶端的若干顶针322，所述升降轴321在竖直方向上可移动地设置，若干所述顶针322从下至上一一对应地穿过若干所述通孔11与晶圆底部相抵用于升降晶圆，所述整体升降组件33包括在竖直方向上可移动地设置的整体升降驱动块331； 旋转模块4，所述整体升降驱动块331与所述旋转模块4相连用于升降所述旋转模块4，所述旋转模块4包括旋转轴41、动密封组件42、波纹管组件43，所述波纹管组件43的顶端与反应室密封连接，所述波纹管组件43的底端与所述动密封组件42相连，所述旋转轴41的顶端与所述基座1在周向上限位以驱动所述基座1绕旋转轴41的中心轴线旋转，所述旋转轴41与所述升降轴321同轴，所述旋转轴41从下至上依次穿过所述动密封组件42与所述波纹管组件43伸入反应室内，所述升降轴321的一部分位于所述波纹管组件43内并向上穿出所述波纹管组件43后伸入反应室内； 调节模块2，所述调节模块2包括机架21和调整组件，所述机架21用于与反应室相连，所述调整组件设在所述机架21上并与所述底座31相连，所述调整组件用于沿X轴方向、Y轴方向调整底座31的位置，还用于调整底座31的水平度，其中X轴和Y轴均沿水平方向且相互垂直； 所述调整组件包括底板211、水平调整组件24、X轴调整组件22和Y轴调整组件23，所述水平调整组件24设在所述机架21上，用于调整所述底板211的水平度，所述X轴调整组件22设在所述底板211上以所述底板211为支撑沿X轴调整所述Y轴调整组件23的位置，所述Y轴调整组件23以所述X轴调整组件22为支撑沿Y轴调整自身的位置，所述Y轴调整组件23与所述底座31相连； 所述水平调整组件24包括若干楔形调整块241，所述楔形调整块241沿其水平方向可移动地设在所述机架21上，所述楔形调整块241的顶面为斜面，所述底板211与所述楔形调整块241的顶面相抵，通过调节所述楔形调整块241的相对位置调整其嵌入底板211的高度，若干所述楔形调整块241沿周向间隔设置实现所述底板211的水平度调整，且所述楔形调整块241至少为三个。

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