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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利控制参数调整方法以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116643491B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211650928.5，技术领域涉及：G05B13/02；该发明授权控制参数调整方法以及存储介质是由仲村武瑠;安陪裕滋设计研发完成，并于2022-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本控制参数调整方法以及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供即使在使基板相对于喷嘴移动的移动控制存在限制条件的情况下也能够高效地调整移动控制参数的控制参数调整方法。控制参数调整方法包括：喷出数据准备工序S20，准备表示喷嘴71喷出的处理液的喷出量的时间变化的喷出数据；以及移动控制参数调整工序，在喷出数据准备工序后，对用于控制使基板S相对于喷嘴相对地移动的移动机构5的移动控制参数进行调整。移动控制参数调整工序包括：移动速度测量工序S24，测量根据设定的移动控制参数控制所述移动机构时的移动速度；以及评价值导出工序S28，使用喷出数据和施加了移动机构中的移动控制的限制条件的速度数据评价函数，导出移动速度测量工序中得到的速度数据的评价值。

本发明授权控制参数调整方法以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种控制参数调整方法，调整基板处理装置的控制参数，该基板处理装置通过一边从喷嘴喷出处理液一边使基板相对于所述喷嘴相对地移动来向基板涂布处理液，其中，该控制参数调整方法包括： a喷出数据准备工序，准备表示所述喷嘴喷出的处理液的喷出压力的时间变化的喷出数据；以及 b移动控制参数调整工序，在所述喷出数据准备工序后，对移动控制参数进行调整，该移动控制参数用于控制使所述基板相对于所述喷嘴相对地移动的移动机构， 所述移动控制参数调整工序包括： b-1移动速度测量工序，基于所述移动机构的输出，测量根据设定的移动控制参数控制所述移动机构时的移动速度； b-2评价工序，使用所述喷出数据和施加了所述移动机构中的移动控制的限制条件的评价函数，对在所述移动速度测量工序中得到的速度数据进行评价；以及 b-3工序，反复执行基于根据所述评价工序的结果更新的所述移动控制参数的所述移动速度测量工序和所述评价工序，使所述移动控制参数最优化， 所述评价函数是导出表示所述喷出数据与所述速度数据的差异的评价值的函数， 所述评价工序包括： b-21第一回归工序，通过将所述喷出数据回归至第一回归函数，获取第一回归参数；以及 b-22第二回归工序，通过将所述速度数据回归至所述第一回归函数，获取第二回归参数， 所述第一回归函数是施加了所述移动控制的限制条件的函数， 所述评价函数是导出表示所述第一回归参数与所述第二回归参数的差异的评价值的函数。

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