之江实验室;浙江大学陈智获国家专利权
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龙图腾网获悉之江实验室;浙江大学申请的专利光学各向同性晶体的湿法辅助-飞秒激光加工纳米孔方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115747969B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211399789.3,技术领域涉及:C30B33/00;该发明授权光学各向同性晶体的湿法辅助-飞秒激光加工纳米孔方法是由陈智;钟理京;王宇莹;杨弈;许贝贝;刘小峰;谭德志;马志军;邱建荣设计研发完成,并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学各向同性晶体的湿法辅助-飞秒激光加工纳米孔方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光学各向同性晶体的湿法辅助‑飞秒激光加工纳米孔方法。在目标加工物的光学各向同性晶体上通过光学接触放置一块更厚光学各向同性晶体作为球差增强辅助物,飞秒激光透射经过球差增强辅助物后入射并聚焦到目标加工物内产生自聚焦拉丝效应,而诱导材料局域改性成纳米拉丝诱导区域;再用特定酸性溶液湿法刻蚀,使纳米拉丝诱导区域被刻蚀形成孔径可控、高深‑径比的纳米孔。本发明可对任意光学各向同性晶体内部三维空间进行诱导加工,还可调节制备高深‑径比的纳米孔结构,克服了传统方法只能在材料表面加工低深‑径比的纳米孔结构缺点,制备更小尺寸、均一、可控的纳米孔结构,具有高效、稳定、低廉的三维空间可控的纳米加工特点。
本发明授权光学各向同性晶体的湿法辅助-飞秒激光加工纳米孔方法在权利要求书中公布了:1.一种光学各向同性晶体的湿法辅助-飞秒激光加工纳米孔方法,其特征在于,方法针对所需加工的一块光学各向同性晶体作为目标加工物,具体包括以下过程: 首先在目标加工物的一侧上光学接触放置比目标加工物厚度更厚的另一块光学各向同性晶体作为球差增强辅助物,施加从球差增强辅助物到目标加工物方向的飞秒激光透射经过球差增强辅助物后入射并聚焦到目标加工物的内部,进而在目标加工物的光学各向同性晶体内部自聚焦拉丝诱导材料局域改性而形成纳米拉丝诱导区域,所述飞秒激光采用不同曝光脉冲个数; 然后将目标加工物采用酸性溶液湿法刻蚀,使得纳米拉丝诱导区域被刻蚀形成孔径可控、高深-径比的纳米孔。
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