浙江大学肖刚获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利超临界晶圆清洗/干燥介质回收方法以及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115739844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211338918.8，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权超临界晶圆清洗/干燥介质回收方法以及系统是由肖刚;王征;刘亚飞;祝培旺设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本超临界晶圆清洗/干燥介质回收方法以及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种超临界晶圆清洗干燥介质回收方法以及系统，能够实现超临界态介质的分离回收以及循环利用。本发明提供的一种超临界晶圆清洗干燥介质回收方法包括以下步骤：清洗干燥步骤，利用超临界态介质溶解并带走晶圆上的溶剂；分离步骤，将所述清洗干燥步骤得到的所述超临界态介质转化为气态介质，将气态介质与溶剂进行气液分离；供气步骤，对气态介质加压升温，得到超临界态介质，以供给清洗干燥步骤使用的所述超临界态介质。
本发明授权超临界晶圆清洗/干燥介质回收方法以及系统在权利要求书中公布了：1.一种超临界晶圆清洗干燥介质回收方法，其特征在于，包括以下步骤： 清洗干燥步骤，利用超临界态介质溶解并带走晶圆上附着的溶剂，所述超临界态介质为超临界态二氧化碳，所述溶剂为易溶于超临界态介质的有机溶剂； 减压步骤，降低所述清洗干燥步骤后的所述超临界态介质与所述溶剂的混合物的压力，得到混合溶液；所述减压步骤中的所述混合溶液的压力为1～5MPa，温度小于20℃，二氧化碳处于亚临界状态，此时，二氧化碳与所述溶剂不互溶； 升温步骤，加热所述混合溶液，得到气态介质以及液态溶剂，所述升温步骤中的所述气态介质的温度为0～30℃； 气液分离步骤，将所述气态介质与所述液态溶剂进行气液分离； 供气步骤，将所述气液分离步骤得到的所述气态介质和或外部气源供给的外部介质进行加压升温，以得到所述超临界态介质，供给所述清洗干燥步骤使用； 压力调整步骤，将所述气液分离步骤得到的所述气态介质进行加压输送，并在所述供气步骤前将加压后的所述气态介质的压力调整至与所述外部介质的压力相同。
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