买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种金属膜厚的实时测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116175396B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211230651.0，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种金属膜厚的实时测量方法是由白琨;李嘉浪;张康;贾若雨;孟晓云;周庆亚设计研发完成，并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金属膜厚的实时测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种金属膜厚的实时测量方法，包括：提供第一标定晶圆至第N标定晶圆，任意第n标定晶圆的表面具有第n金属膜；获取第一金属膜的第一温度补偿标定系数至第N金属膜的第N温度补偿标定系数；拟合出膜厚预测函数；提供待测晶圆，待测晶圆的表面具有待测金属膜；对待测金属膜进行抛光处理，获取待测金属膜的温度变化量；获得对应温度变化量的初始测试涡流信号；获取第n标定预测涡流信号；获取温度补偿预测函数；获取初始测试涡流信号在温度补偿预测函数中对应的温度补偿预测系数；获取补偿涡流信号；获取补偿涡流信号在膜厚预测函数中对应的待测金属膜的测试厚度。上述金属膜厚的实时测量方法，提高了金属膜厚实时测量的准确性。

本发明授权一种金属膜厚的实时测量方法在权利要求书中公布了：1.一种金属膜厚的实时测量方法，其特征在于，包括： 步骤S1：提供第一标定晶圆至第N标定晶圆，任意第n标定晶圆的表面具有第n金属膜；第一标定晶圆表面的第一金属膜至第N标定晶圆表面的第N金属膜的厚度不同，N为大于等于2的整数； 步骤S2:获取第一金属膜的第一温度补偿标定系数至第N金属膜的第N温度补偿标定系数Ψn；获取任意的第n温度补偿标定系数Ψn的步骤包括：对第n标定晶圆进行第n水抛处理；在第n水抛处理之前，对第n金属膜进行第n次第一电涡流传感器测试以获得第n次第一涡流信号Sn1；在第n水抛处理之后，对第n金属膜进行第n次第二电涡流传感器测试，获得第n次第二涡流信号Sn2；n为大于或等于1且小于或等于N的整数；获取第n水抛处理过程的第n温度变化量ΔTn；将第n次第一涡流信号和第n次第二涡流信号的差值的绝对值与第n温度变化量ΔTn的比值作为第n温度补偿标定系数Ψn；Ψn＝ΔSnΔTn；ΔSn＝︱Sn1-Sn2︱；ΔTn＝︱Tn1-Tn2︱； 步骤S3:采用任意的第n金属膜的厚度与第n次第一涡流信号的数据拟合出膜厚预测函数，所述膜厚预测函数为测试厚度与补偿涡流信号的关系； 步骤S4:提供待测晶圆，所述待测晶圆的表面具有待测金属膜； 步骤S5:对待测金属膜进行抛光处理，获取对待测金属膜进行抛光处理的过程中的温度变化量ΔT；对待测金属膜进行抛光处理的过程中，实时对待测金属膜进行电涡流传感器测试，以获得对应温度变化量ΔT的初始测试涡流信号S0； 步骤S6：采用温度变化量ΔT和任意的第n温度补偿标定系数Ψn获取第n标定预测涡流信号I1n,I1n＝Ψn*ΔT+Sn1； 步骤S7：采用任意的第n温度补偿标定系数和第n标定预测涡流信号I1n获取温度补偿预测函数，温度补偿预测函数为温度补偿预测系数随初始测试涡流信号的变化关系； 步骤S8:获取所述初始测试涡流信号在所述温度补偿预测函数中对应的待测金属膜的温度补偿预测系数Ψ； 步骤S9:根据待测金属膜的温度补偿预测系数Ψ、温度变化量ΔT、初始测试涡流信号S0获取补偿涡流信号S；S＝S0+ΔT*Ψ； 步骤S10：获取补偿涡流信号S在所述膜厚预测函数中对应的待测金属膜的测试厚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。