徐州博康信息化学品有限公司傅志伟获国家专利权
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龙图腾网获悉徐州博康信息化学品有限公司申请的专利一种正性光刻胶组合物及其制备与使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115421354B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211201501.7，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种正性光刻胶组合物及其制备与使用方法是由傅志伟;王文毅;吴信;朱玉呈;戴文超;梅崇余;潘新刚设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种正性光刻胶组合物及其制备与使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种正性光刻胶组合物及其制备与使用方法，所述光刻胶组合物包括如下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶组合物总质量的15～25％；萘酰亚胺类光致产酸剂，聚合物树脂的1.0～6.0％；酸扩散控制剂，萘酰亚胺类光致产酸剂的8～40％；流平剂，光刻胶组合物总质量的0.1～0.5％；溶剂，补足百分百；所述聚合物树脂包括第一聚合物树脂和第二聚合物树脂。制备方法包括以下步骤：将正性光刻胶组合物的各组分混合。使用方法包括以下步骤：将正性光刻胶组合物涂布在硅片上，依次经过前烘、曝光、后烘和显影，得到光刻图案。本发明提供的正性光刻胶组合物可以有效降低驻波效应，增加光刻胶图形侧壁的垂直性，提高光刻胶成像的分辨率。
本发明授权一种正性光刻胶组合物及其制备与使用方法在权利要求书中公布了：1.一种正性光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物包括如下质量百分比的各组分： 所述聚合物树脂包括第一聚合物树脂和第二聚合物树脂；所述第一聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物、苯乙烯化合物和丙烯酸叔丁酯化合物的共聚物；所述第二聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物、缩醛保护的羟基苯乙烯化合物和如通式I化合物的共聚物； 所述通式I化合物所示结构如下： 式I中，P1为氢原子或C1～C4的烷基；P2、P3和P4各自独立地为C1～C10的烷基，且P2、P3和P4中至少有一个为C4～C10的环烷基或P2、P3和P4任意两个可以键结形成环； 所述通式I化合物选自以下结构中的至少一种：
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