有研稀土新材料股份有限公司;有研稀土高技术有限公司陈德宏获国家专利权
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龙图腾网获悉有研稀土新材料股份有限公司;有研稀土高技术有限公司申请的专利一种共溅射稀土旋转靶材、制备方法及其应用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115505885B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211099776.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种共溅射稀土旋转靶材、制备方法及其应用方法是由陈德宏;王志强;钟嘉珉;李宗安;程军;庞思明;杨秉政;王爽;张艳岭;张小强;刘德忠;韩立国设计研发完成，并于2022-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种共溅射稀土旋转靶材、制备方法及其应用方法在说明书摘要公布了：本发明实施例涉及一种共溅射稀土旋转靶材、制备方法及其应用方法，所述共溅射稀土旋转靶材包括设置于靶材轴向端部的2节端部靶管和设置于2节端部靶管之间靶材沿轴向中间区域的若干节稀土靶管和若干节共溅射靶管，所述若干节稀土靶管和若干节共溅射靶管间隔设置，各节靶管之间通过焊接相互拼接；所述共溅射靶管选自铝、铜、镍、铁和镨靶管中的至少一种，所述端部靶管为非稀土靶管或稀土靶管。本发明实施例提供的技术方案，将稀土靶管与铝、铜等共溅射元素靶管组合在同一支旋转靶材，实现稀土和共溅射元素同时附着在钕铁硼表面，在提高稀土靶材利用率和溅射效率的同时，可以达到缩短晶界扩散时间和降低扩散温度的有益技术效果。
本发明授权一种共溅射稀土旋转靶材、制备方法及其应用方法在权利要求书中公布了：1.一种共溅射稀土旋转靶材，其特征在于，所述稀土旋转靶材包括背管和若干节焊接于背管外部的靶管；所述背管和若干节焊接于背管外部的靶管为同心的柱状结构； 所述若干节焊接于背管外部的靶管包括设置于靶材轴向端部的2节端部靶管和设置于2节端部靶管之间靶材沿轴向中间区域的若干节稀土靶管和若干节共溅射靶管，所述若干节稀土靶管和若干节共溅射靶管间隔设置，各节靶管之间通过焊接相互拼接；各节相互拼接的靶管之间留有间隙，所述间隙的最小值与靶管材料的膨胀系数有关； 所述端部靶管为不锈钢靶管； 所述共溅射靶管为铝靶管或者铜靶管；所述稀土靶管包括选自铽和镝中的一种旋转靶管；共溅射靶管为铝靶管时，设置于中间区域的稀土靶管与共溅射靶管的长度比为1.8-3.0；共溅射靶管为铜靶管时，设置于中间区域的稀土靶管与共溅射靶管的长度比为6.0-10.0。
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