华南理工大学陈忠获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种复合阻尼XYZ解耦并联柔顺定位平台及控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115494266B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211030242.6,技术领域涉及:G01Q60/24;该发明授权一种复合阻尼XYZ解耦并联柔顺定位平台及控制方法是由陈忠;邱钰莨;石俊杰;钟喜能;张宪民设计研发完成,并于2022-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合阻尼XYZ解耦并联柔顺定位平台及控制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种复合阻尼XYZ解耦并联柔顺定位平台及控制方法,包括动平台,所述动平台内嵌梯度局部谐振器,所述动平台分别与三个运动支链连接,每个运动支链与压电陶瓷作动器连接,所述运动支链包括位移放大机构及两个双轴同位正交柔性铰链,所述双轴同位正交柔性铰链内嵌阻尼子结构。本发明实现了高带宽的微纳定位平台,可以应用于AFM原子力显微镜或SEM扫描电镜,作为高速扫描的载物平台使用。
本发明授权一种复合阻尼XYZ解耦并联柔顺定位平台及控制方法在权利要求书中公布了:1.一种复合阻尼XYZ解耦并联柔顺定位平台,其特征在于,包括动平台,所述动平台内嵌梯度局部谐振器,所述动平台分别与三个运动支链连接,每个运动支链与压电陶瓷作动器连接,所述运动支链包括位移放大机构及两个双轴同位正交柔性铰链,所述双轴同位正交柔性铰链内嵌阻尼子结构; 所述梯度局部谐振器包括27个局部谐振单元及三层九宫格框架,每层九宫格框架设置9个局部谐振单元,每个局部谐振单元由均质硅胶层包裹不同直径的铅珠构成,与动平台形成各自独立的并联关系; 所述每层九宫格框架设置9个局部谐振单元,所述9个局部谐振单元包括2mm铅珠3个,3mm铅珠5个,4mm铅珠1个; 所述4mm铅珠位于九宫格的右上角,三个2mm铅珠分别位于九宫格的左上下角以及右下角,其余位置设置3mm铅珠。
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