北京北方华创微电子装备有限公司张源获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种晶片承载装置及半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115394877B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211023959.8，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种晶片承载装置及半导体处理设备是由张源;曹京星;程勇杰;赵永飞;李补忠;郑建宇设计研发完成，并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片承载装置及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶片承载装置及半导体处理设备，晶片承载装置包括：下电极板，用于承载载板，并且下电极板上设置有窗口；第一驱动部，与下电极板连接，用于驱动下电极板上升至第一位置，或驱动下电极板下降至第二位置；升降组件，可升降地设置于窗口中，用于相对于下电极板上升时打开窗口，并在上升至第三位置时对载板形成支撑，且能够沿第一方向传输载板；或相对于下电极板下降至第四位置时，盖合窗口，且升降组件的顶面不高于下电极板的顶面；第二驱动部，与升降组件连接，用于驱动升降组件相对下电极板做升降运动。本申请在下电极板上设置窗口，在窗口中设置升降组件，升降组件上升至第三位置时对载板形成支撑，避免载板变形。
本发明授权一种晶片承载装置及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶片承载装置，应用于半导体处理设备的工艺腔室，其特征在于，包括： 下电极板，用于承载沿第一方向传送至所述工艺腔室中的载板，并且所述下电极板上设置有窗口； 第一驱动部，与所述下电极板连接，用于驱动所述下电极板上升至第一位置，或驱动所述下电极板下降至第二位置； 升降组件，可升降地设置于所述窗口中，所述升降组件用于相对于所述下电极板上升时，打开所述窗口，并在上升至第三位置时，对所述载板形成支撑，且能够沿所述第一方向传输所述载板；或相对于所述下电极板下降至第四位置时，盖合所述窗口，且所述升降组件的顶面不高于所述下电极板的顶面； 第二驱动部，与所述升降组件连接，用于驱动所述升降组件相对所述下电极板升降。
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