北京北方华创微电子装备有限公司祁乐获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆位置异常检测系统、方法及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115241095B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210907300.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆位置异常检测系统、方法及半导体设备是由祁乐设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆位置异常检测系统、方法及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆位置异常检测系统、方法及半导体设备，系统包括：控制单元以及设置于第一腔室内的第一检测组件和视频采集模块，第一检测组件与晶圆的传输路径对应设置，用于检测晶圆是否从传输装置上掉落；控制单元用于：实时监测第一检测组件的检测信号是否异常，当监测到第一检测组件的检测信号正常时，控制传输装置执行设定的晶圆传输流程，并控制视频采集模块保持休眠状态；当监测到第一检测组件的检测信号异常时，控制传输装置停止动作，控制多个视频采集模块开启对第一腔室内部进行图像采集并发送图像信息，同时发送报警信号。本发明可以提高晶圆异常位置判定的检测精度，减少故障处理时间。
本发明授权晶圆位置异常检测系统、方法及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆位置异常检测系统，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室的侧壁上设有与所述第二腔室连通的传片口，所述第一腔室内设置有传输装置，用于在所述第一腔室和所述第二腔室之间传输晶圆，其特征在于，所述系统包括： 控制单元以及设置于所述第一腔室内的第一检测组件和视频采集模块，所述第一检测组件、所述视频采集模块和所述传输装置分别与所述控制单元连接； 所述第一检测组件与所述晶圆的传输路径对应设置，用于检测晶圆是否从所述传输装置上掉落； 所述控制单元用于： 实时监测所述第一检测组件的检测信号是否异常，当监测到所述第一检测组件的检测信号正常时，控制所述传输装置执行设定的晶圆传输流程，并控制所述视频采集模块保持休眠状态； 当监测到所述第一检测组件的检测信号异常时，控制所述传输装置停止动作，控制多个所述视频采集模块开启对所述第一腔室内部进行图像采集并发送图像信息，同时发送报警信号。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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