北京航空航天大学屈玉福获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利微纳器件三维缺陷快速检测装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115219504B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210834881.1，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权微纳器件三维缺陷快速检测装置和方法是由屈玉福;王昊静;彭仁举;魏双凤;张湛舸;任佳俊设计研发完成，并于2022-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本微纳器件三维缺陷快速检测装置和方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光学量测领域的微纳器件三维缺陷快速检测装置和方法。该装置和方法基于通焦扫描光学显微成像TSOM原理，具体涉及一种无机械轴向扫描的TSOM装置和快速量测几何尺寸、检测缺陷的TSOM方法。该TSOM装置利用色散物镜与衍射光栅组合，实现光学轴向扫描代替机械轴向扫描，在提高工作速度的同时，充分利用成像系统的光通量，解决了机械扫描带来的侧向偏移和振动干扰的影响。该方法建立了TSOM装置中成像系统的放大率、不同波长的光在探测器表面位置、以及光谱带宽等参数与系统元件参数的关系式，可通过调整系统元件参数以满足量测需求，保留了显微检测视场大的优点，工作速度快，适合在线检测和大批量生产应用。
本发明授权微纳器件三维缺陷快速检测装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种微纳器件三维缺陷快速检测装置，其特征在于： 通焦扫描光学显微成像TSOM装置包括： 照明模块，利用光源和柱面镜，产生一束条形结构的准直光，以照射色散模块； 色散模块，利用色散物镜中的色散透镜的色散功能，将不同波长的光聚焦在不同焦点位置，实现TSOM光学轴向扫描； 成像模块，利用衍射光栅的分光功能，将光按照波长长短展开到探测器的整个成像面上，不同波长的光成像到探测器的不同列，而每一列又和色散物镜的不同波长对应，探测器上的单张图像包含了待测结构的聚焦与离焦信息； TSOM装置标定模块，利用激光测距仪进行测距，用于标定TSOM装置； 快速采集图像模块，采集探测器上的图像并进行处理，得到实际采集的TSOM图像； 尺寸量测及缺陷检测模块，对实际采集的TSOM图像进行数据处理，反演匹配得到微纳器件三维几何尺寸或缺陷。
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