宁波柯力传感科技股份有限公司胡文辉获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波柯力传感科技股份有限公司申请的专利一种耐高温、低功耗的柔性薄膜电阻应变计的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115371540B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210837090.4，技术领域涉及：G01B7/16；该发明授权一种耐高温、低功耗的柔性薄膜电阻应变计的制备方法是由胡文辉;赵晓华;姚玉明;柯建东设计研发完成，并于2022-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种耐高温、低功耗的柔性薄膜电阻应变计的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及柔性薄膜电阻应变计制备技术领域，公开了一种耐高温、低功耗的柔性薄膜电阻应变计的制备方法，包括（1）以玻璃纤维网布增强的聚酰亚胺薄膜为基底，在基底表面涂覆光刻胶进行光刻，图形化应变计图形；（2）在基底的应变计图形上沉积NiCr合金薄膜作为敏感栅层；（3）在敏感栅上设置抗氧化膜层；（4）去除表面多余的光刻胶，退火处理，得到柔性薄膜电阻应变计。所得薄膜应变电阻计可以在200～400℃的高温环境下正常工作，具有较好的可靠性，而且内阻值可高达3000Ω，极大降低使用功耗，电阻应变计的电阻温度系数低，同时采用光刻和磁控溅射工艺，提高了应变计加工精度和加工质量，适合批量生产。
本发明授权一种耐高温、低功耗的柔性薄膜电阻应变计的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种柔性薄膜电阻应变计的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： （1）以玻璃纤维网布增强的聚酰亚胺薄膜为基底，在基底表面涂覆光刻胶进行光刻，图形化应变计图形； （2）在基底的应变计图形上先沉积NiCrTi合金薄膜，进行预退火，真空退火炉中200～300℃，时间60～90min，通入氩气和氢气作为保护气氛，氢气和氩气的分压比为1:15～20；再沉积NiCr合金薄膜作为敏感栅层，NiCrTi合金薄膜的厚度为NiCr合金薄膜的0.1～0.2倍； （3）在敏感栅上设置抗氧化膜层； （4）去除表面多余的光刻胶，退火处理，得到柔性薄膜电阻应变计。
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