株式会社斯库林集团福田浩士获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利绘制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115729050B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210803271.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权绘制装置是由福田浩士设计研发完成，并于2022-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本绘制装置在说明书摘要公布了：绘制装置1的绘制头移动机构42使头单元43沿着头移动路径在第1绘制位置与第2绘制位置之间水平移动。气体送出部5沿着头移动路径配置。气体送出部5的气体流路51沿着头移动路径从第1绘制位置延伸到第2绘制位置。气体送出口设于气体流路51的与头单元43相对的部位，朝向头罩44的气体流入口送出气体。送出位置切换部将气体送出口的位置在与位于第1绘制位置的头单元43相对的第1送出位置、和与位于第2绘制位置的头单元43相对的第2送出位置之间切换。由此，能够良好地调节沿着头移动路径移动的绘制头的温度。
本发明授权绘制装置在权利要求书中公布了：1.一种绘制装置，针对基板进行绘制，其特征在于，具备： 基板保持部，其将基板以水平状态保持； 基板移动机构，其使所述基板保持部沿着基板移动路径水平移动； 头单元，其具有配置于所述基板保持部的上方并对所述基板照射光而绘制图案的绘制头、和在内部收容所述绘制头的头罩； 绘制头移动机构，其使所述头单元沿着在俯视下与所述基板移动路径交叉的头移动路径在第1头位置与第2头位置之间水平移动；以及 气体送出部，其沿着所述头移动路径配置，在所述头单元位于所述第1头位置及所述第2头位置中的任一位置的情况下，都能够向所述头罩的内部供给温度调节后的气体， 所述气体送出部具备： 气体流路，其沿着所述头移动路径从所述第1头位置延伸到所述第2头位置，并且供所述气体流动； 气体送出口，其设于所述气体流路的与所述头单元相对的部位，朝向所述头罩的气体流入口送出所述气体；以及 送出位置切换部，其将所述气体送出口的位置在与位于所述第1头位置的所述头单元相对的第1送出位置、和与位于所述第2头位置的所述头单元相对的第2送出位置之间进行切换。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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