群翊工业股份有限公司陈安顺获国家专利权
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龙图腾网获悉群翊工业股份有限公司申请的专利基板烘烤设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116358251B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210443331.7,技术领域涉及:F26B9/06;该发明授权基板烘烤设备是由陈安顺设计研发完成,并于2022-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板烘烤设备在说明书摘要公布了:一种基板烘烤设备,包含烘烤箱,及进气装置。所述烘烤箱界定烘烤腔室,所述烘烤箱包括至少两个进气侧及至少一出气侧,所述进气侧及所述出气侧分别位于所述烘烤腔室的三个相异侧。所述进气装置设置于所述烘烤箱且至少连通于所述进气侧,所述进气装置用以产生热气流并能使所述热气流经由所述进气侧流入所述烘烤腔室内。借此,能提升烘烤基板的温度均匀性,从而提升烘烤的质量。
本发明授权基板烘烤设备在权利要求书中公布了:1.一种基板烘烤设备,其特征在于: 所述基板烘烤设备包含烘烤箱,及进气装置,所述烘烤箱界定烘烤腔室,所述烘烤箱包括至少两个进气侧及至少一出气侧,所述进气侧及所述出气侧分别位于所述烘烤腔室的三个相异侧,所述进气装置设置于所述烘烤箱且至少连通于所述进气侧,所述进气装置用以产生热气流并能使所述热气流经由所述进气侧流入所述烘烤腔室内,所述烘烤箱包括内炉,所述内炉具有所述烘烤腔室及所述进气侧,所述进气装置包括导流外壳、第一加热器,及第二加热器,所述导流外壳包覆住所述进气侧,所述第一加热器及所述第二加热器设置于所述导流外壳内且分别邻近于所述进气侧的外侧用以产生热气。
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