杰宜斯科技有限公司朴芝镐获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132618B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210315549.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及其控制方法是由朴芝镐;孔云;文雄助;朴基薰设计研发完成，并于2022-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开基板处理装置及基板处理装置的控制方法。所公开的基板处理装置包括：真空卡盘部，用于吸附支撑晶圆组装体，该晶圆组装体包括晶圆；旋转卡盘部，用于使真空卡盘部旋转；旋转轴，与旋转卡盘部连接以使旋转卡盘部旋转；环形盖部，对晶圆组装体施加压力，防止喷射到晶圆的处理液向真空卡盘部扩散；密封圈部，设置在真空卡盘部，用于支撑晶圆组装体；以及媒介供给部，用于向真空卡盘部供给检查媒介，以使用于确认密封圈部的破损的检查媒介流入到密封圈部的内部。
本发明授权基板处理装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 真空卡盘部，用于吸附支撑晶圆组装体，所述晶圆组装体包括晶圆； 旋转卡盘部，用于使所述真空卡盘部旋转； 旋转轴，与所述旋转卡盘部连接以使所述旋转卡盘部旋转； 环形盖部，对所述晶圆组装体施加压力，防止喷射到所述晶圆的处理液向所述真空卡盘部扩散； 密封圈部，设置在所述真空卡盘部，用于支撑所述晶圆组装体；以及 媒介供给部，与所述真空卡盘部连接，用于向所述真空卡盘部供给检查媒介，以使所述检查媒介流入到所述密封圈部的内部，所述检查媒介用于确认所述密封圈部的破损。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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