美商楼氏电子有限公司P·V·洛佩特获国家专利权
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龙图腾网获悉美商楼氏电子有限公司申请的专利MEMS管芯和基于MEMS的传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115119120B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210263170.3，技术领域涉及：H04R19/00；该发明授权MEMS管芯和基于MEMS的传感器是由P·V·洛佩特;M·佩德森;V·纳德瑞恩设计研发完成，并于2022-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS管芯和基于MEMS的传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及一种MEMS管芯和基于MEMS的传感器。微机电系统MEMS管芯包括：活塞；面向该活塞的电极，其中，所述活塞与所述电极之间的电容随着所述活塞与所述电极之间的距离改变而改变；以及设置在所述活塞与所述电极之间的弹性结构例如，垫圈或褶皱壁，其中，所述弹性结构支撑所述活塞并抵挡所述活塞相对于所述电极的移动。后腔容积由活塞和弹性结构界定，并且弹性结构阻止空气离开后腔容积。活塞可以是由诸如金属或掺杂半导体之类的导电材料制成的刚性体。MEMS管芯还可以包括第二弹性结构，该第二弹性结构为活塞提供进一步的支撑并设置在后腔容积内。
本发明授权MEMS管芯和基于MEMS的传感器在权利要求书中公布了：1.一种用于麦克风的微机电系统MEMS管芯，所述MEMS管芯用作声换能器，所述MEMS管芯包括： 活塞； 电极，所述电极面向所述活塞，其中，所述活塞与所述电极之间的电容随着所述活塞与所述电极之间的距离改变而改变； 弹性结构，所述弹性结构设置在所述活塞与所述电极之间，其中，所述弹性结构支撑所述活塞，所述弹性结构抵挡所述活塞相对于所述电极的移动，其中，由所述活塞和所述弹性结构界定后腔容积，并且所述弹性结构阻止空气离开所述后腔容积；以及 第二弹性结构，所述第二弹性结构设置在所述后腔容积内，其中，所述第二弹性结构支撑所述活塞。
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