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龙图腾网获悉纽富来科技股份有限公司申请的专利多带电粒子射束描绘装置及其调整方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115113490B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210259329.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权多带电粒子射束描绘装置及其调整方法是由七尾翼;松本裕史设计研发完成，并于2022-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本多带电粒子射束描绘装置及其调整方法在说明书摘要公布了：提供能够简便且高精度地进行多射束的像散校正的多带电粒子射束描绘装置及其调整方法。多带电粒子射束描绘装置具备：物镜，调整多射束的焦点位置；像散校正元件，校正多射束的像散；检查孔径，使多射束中的一根通过；偏转器，使多射束偏转，在检查孔径上扫描多射束；电流检测器，检测通过检查孔径后的多射束的各射束的射束电流；射束图像制作部，基于射束电流制作射束图像；特征量计算部，在第一方向上将射束图像的亮度相加而生成第一波形，根据第一波形计算第一特征量，在与第一方向不同的第二方向上将射束图像的亮度相加而生成第二波形，根据第二波形计算第二特征量；及参数计算部，基于第一及第二特征量，计算对像散校正元件设定的激励参数。

本发明授权多带电粒子射束描绘装置及其调整方法在权利要求书中公布了：1.一种多带电粒子射束描绘装置，其特征在于，具备：物镜，调整多射束的焦点位置；像散校正元件，校正所述多射束的像散；载物台，供作为描绘对象的基板载置；检查孔径，设置于所述载物台，使所述多射束中的1根射束通过；电流检测器，检测通过了所述检查孔径后的所述多射束的各射束的射束电流；偏转器，使所述多射束偏转，在所述检查孔径上扫描所述多射束；射束图像制作部，基于检测出的所述射束电流来制作射束图像；特征量计算部，在第一方向上将所述射束图像的亮度相加而生成第一波形，并根据所述第一波形计算第一特征量，在与所述第一方向不同的第二方向上将所述射束图像的亮度相加而生成第二波形，并根据所述第二波形计算第二特征量；以及参数计算部，基于所述第一特征量及所述第二特征量，计算对所述像散校正元件设定的激励参数，所述第一方向与所述第二方向正交，所述第一特征量及所述第二特征量是所述第一波形及所述第二波形中的亮度的方差、所述第一波形及所述第二波形中的亮度的最大值与最小值的差量、所述第一波形及所述第二波形中的微分值的最大值与最小值的差量、所述第一波形及所述第二波形中的每个射束间距周期的亮度的最大值与最小值的差量的合计中的某一个，所述参数计算部以所述第一特征量取极值的透镜值与所述第二特征量取极值的透镜值一致的方式计算所述激励参数。

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