东京毅力科创株式会社三枝裕司获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利气体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115116893B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210229166.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权气体处理装置是由三枝裕司;半田达也;笹原丽红;旭健史郎;西村和晃;吉村章弘;古泽正树设计研发完成，并于2022-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及气体处理装置。提供一种能够在使用含氟气体和碱性气体的气体处理时抑制由于微粒而在基板产生缺陷的气体处理装置。对基板实施气体处理的气体处理装置具有：腔室，其收容基板；气体供给机构，其将含氟气体和碱性气体独立地供给；以及气体导入构件，其使自气体供给机构供给来的含氟气体与碱性气体合流，并将含氟气体与碱性气体混合而成的混合气体向腔室导入，气体导入构件的包含含氟气体与碱性气体的合流部位的部分由铝类材料构成，至少在包含合流部位的部分形成有树脂涂层。
本发明授权气体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种气体处理装置，其对基板实施气体处理，其中， 该气体处理装置具有： 腔室，其收容基板； 气体供给机构，其将含氟气体和碱性气体独立地供给；以及 气体导入构件，其使自所述气体供给机构供给来的所述含氟气体与所述碱性气体合流，并将所述含氟气体与碱性气体混合而成的混合气体向所述腔室导入， 所述气体导入构件的包含所述含氟气体与所述碱性气体的合流部位的部分由铝类材料构成， 至少在包含所述合流部位的部分形成有树脂涂层， 其中，所述树脂涂层形成于所述合流部位以及供所述含氟气体与所述碱性气体的混合气体流通的部分， 其中，所述气体导入构件具有：主体，其由铝类材料构成；第1气体导入部和第2气体导入部，其分别导入所述含氟气体和所述碱性气体；以及气体流路，其设于所述主体的内部，具有所述合流部位，并且供所述混合气体流通，所述树脂涂层形成于所述主体的所述气体流路的内表面。
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