株式会社斯库林集团门间彻获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115083951B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210193391.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置及衬底处理方法是由门间彻设计研发完成，并于2022-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明的衬底处理装置具备流路部、喷出部及检测部。流体在流路部内流动。流体例如可以是液体，也可以是气体。喷出部构成为能够向用于对衬底进行处理的处理空间内喷出在流路部内流动的流体。检测部检测在流路部的内部所发生的放电。
本发明授权衬底处理装置及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备：流路部，供流体流动； 喷出部，构成为能够向用于对衬底进行处理的处理空间内喷出在所述流路部内流动的所述流体；及 检测部，借由将所述流路部的内部的电磁波的磁场成分转换为电动势，不与所述流体接触地检测在所述流路部的内部所发生的放电。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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