北京北方华创微电子装备有限公司陈忠明获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体清洗设备及其承载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114639632B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210168185.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权半导体清洗设备及其承载装置是由陈忠明;宋爱军;赵宏宇;张敬博设计研发完成，并于2022-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洗设备及其承载装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种半导体清洗设备及其承载装置。该承载装置包括：卡盘结构、密封转接结构、拧紧结构及驱动结构；卡盘结构的顶面用于承载晶圆；密封转接结构的密封罩用于在卡盘结构的底部形成有密封的安装空间，并且卡盘结构能相对于密封罩旋转，驱动结构与密封罩的底部固定连接；转接组件位于安装空间内，并且分别与卡盘结构及驱动结构连接，驱动结构用于通过转接组件带动卡盘结构旋转；通过在密封罩底部操作拧紧结构，使位于安装空间内的拧紧结构动作，以用于将转接组件与卡盘结构连接。本申请实施例实现了卡盘结构的顶面为一体式结构，避免卡盘结构上的微小颗粒对晶圆的正面造成污染，从而大幅提高清洗效率及良率。
本发明授权半导体清洗设备及其承载装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洗设备的承载装置，其特征在于，包括：卡盘结构、密封转接结构、拧紧结构及驱动结构； 所述卡盘结构的顶面用于承载晶圆； 所述密封转接结构包括密封罩及转接组件，所述密封罩盖合于所述卡盘结构的底面，用于在所述卡盘结构的底部形成有密封的安装空间，并且所述卡盘结构能相对于所述密封罩旋转，所述驱动结构与所述密封罩的底部固定连接；所述转接组件位于所述安装空间内，并且分别与所述卡盘结构及所述驱动结构连接，所述驱动结构用于驱动所述转接组件带动所述卡盘结构旋转； 所述拧紧结构穿设于所述密封罩，并且能伸入所述安装空间内，通过在所述密封罩底部操作所述拧紧结构，使位于所述安装空间内的拧紧结构动作，以用于将所述转接组件与所述卡盘结构连接。
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