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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利顶针装置及其校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334782B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111659054.5，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权顶针装置及其校准方法是由常蕊;王家祥设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本顶针装置及其校准方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种顶针装置及其校准方法，上述顶针装置包括至少三个顶针组件、检测单元、控制单元和多个驱动单元。其中，多个驱动单元用于一一对应地驱动各个顶针组件升降；检测单元用于检测每个顶针组件顶端的高度；控制单元用于在校准过程中，控制驱动单元驱动顶针组件由初始位置上升至取放片位置；根据检测单元检测到的每个顶针组件顶端的实际高度，计算每个顶针组件顶端的实际高度与预设高度的差值，并判断所有的顶针组件对应的差值中是否有差值不为零；若是，则根据不为零的差值，控制与该差值对应的驱动单元驱动顶针组件升降，以使该顶针组件的顶端在位于取放片位置时的高度与预设高度的差值为零，从而使所有顶针组件均能够达到预设高度。

本发明授权顶针装置及其校准方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备中的顶针装置，其特征在于，包括至少三个顶针组件、检测单元、控制单元和多个驱动单元；其中， 所述驱动单元的数量与所述顶针组件数量相同，且各个所述驱动单元用于一一对应地驱动各个所述顶针组件升降； 所述检测单元用于检测每个所述顶针组件顶端的高度； 所述控制单元用于在校准过程中，控制所述驱动单元驱动所述顶针组件由初始位置上升至取放片位置；根据所述检测单元检测到的每个所述顶针组件顶端的实际高度，计算每个所述顶针组件顶端的所述实际高度与预设高度的差值，并判断所有的所述顶针组件对应的所述差值中是否有差值不为零；若是，则根据不为零的所述差值，控制与该差值对应的所述驱动单元驱动所述顶针组件升降，以使该顶针组件的顶端在位于所述取放片位置时的高度与所述预设高度的差值为零； 所述控制单元还用于：在所有的所述顶针组件对应的所述差值中有差值不为零时，控制所有的所述驱动单元驱动所有的所述顶针组件下降至各自的所述初始位置； 根据不为零的所述差值，控制与该差值对应的所述驱动单元驱动所述顶针组件升降，以将该顶针组件从原来的初始位置调节至新的初始位置； 控制所有的所述驱动单元驱动所有的所述顶针组件，自各自当前的所述初始位置以相同的速度上升至所述取放片位置。

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