佳能特机株式会社青木泰一郎获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利搬运装置及载架获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114752912B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111609937.5,技术领域涉及:C23C14/56;该发明授权搬运装置及载架是由青木泰一郎;冈部俊介;江泽光晴设计研发完成,并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本搬运装置及载架在说明书摘要公布了:本发明提供能降低磁搬运中的磁性对磁式的位置检测造成的影响的搬运装置及载架。搬运装置具备:搭载基板的载架;利用磁力搬运所述载架的搬运机构;以及对所述载架的搬运方向的位置进行检测的磁式的检测机构,所述载架具备:对所述基板进行支承的基板支承部;经由连接部与所述基板支承部的端部连接、对所述搬运机构的起磁性作用的永磁铁进行支承的磁铁支承部,所述检测机构配置于比所述连接部靠所述基板支承部侧的位置,所述连接部由磁性材料形成。
本发明授权搬运装置及载架在权利要求书中公布了:1.一种搬运装置,具备: 载架,其搭载基板; 搬运机构,其利用磁力搬运所述载架;以及 磁式的检测机构,其对所述载架的搬运方向的位置进行检测, 所述搬运装置的特征在于, 所述载架具备: 基板支承部,其对所述基板进行支承;以及 磁铁支承部,其经由连接部与所述基板支承部的端部相连接,对所述搬运机构的起磁性作用的永磁铁进行支承, 所述检测机构配置于比所述连接部靠所述基板支承部侧的位置, 所述连接部由磁性材料形成。
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