江苏汉拓光学材料有限公司傅志伟获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏汉拓光学材料有限公司申请的专利一种化学放大光刻胶及其制备与使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114114834B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111486540.1，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种化学放大光刻胶及其制备与使用方法是由傅志伟;潘新刚;吴信;余文卿设计研发完成，并于2021-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学放大光刻胶及其制备与使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种化学放大光刻胶及其制备与使用方法，所述光刻胶包括如下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶的5～10％；光酸，聚合物树脂的4～10％；猝灭剂，光酸的10～40％；UV吸收剂，聚合物树脂的0.5～5％；流平剂，光刻胶的0.1～0.5％；溶剂，补足百分百；所述聚合物树脂包括第一聚合物树脂和或第二聚合物树脂；所述光酸选自离子型光酸或非离子型光酸中的至少一种。制备方法包括以下步骤：按化学放大光刻胶的各组分混合。使用方法包括以下步骤：将化学放大光刻胶涂布在硅片上，依次经过前烘、曝光、后烘和显影。本发明光刻胶能有效降低驻波效应，增加光刻胶图形侧壁的垂直性，提高光刻胶成像的分辨率。
本发明授权一种化学放大光刻胶及其制备与使用方法在权利要求书中公布了：1.一种化学放大光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包括如下质量百分比的各组分： 所述聚合物树脂包括第一聚合物树脂和第二聚合物树脂，所述光酸选自离子型光酸和非离子型光酸；或所述聚合物树脂包括第一聚合物树脂和第二聚合物树脂，所述光酸选自离子型光酸或非离子型光酸；或所述聚合物树脂包括第一聚合物树脂或第二聚合物树脂，所述光酸选自离子型光酸和非离子型光酸； 所述第一聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物、苯乙烯化合物和丙烯酸叔丁酯化合物的共聚物；所述第二聚合物树脂为羟基苯乙烯化合物和缩醛保护的羟基苯乙烯化合物的共聚物。
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