北京北方华创微电子装备有限公司张波获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备及其压力调节装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114203593B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111488970.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备及其压力调节装置是由张波;杨慧萍;闫晓腾设计研发完成，并于2021-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体工艺设备及其压力调节装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体工艺设备及其压力调节装置，所公开的压力调节装置包括壳体、压力调节阀芯组件和驱动机构，其中：所述壳体具有连通设置的内腔和气体通道，所述气体通道开设有进气口和排气口，所述进气口用于与所述半导体工艺设备的排气管道连通；所述驱动机构设于所述内腔中，所述压力调节阀芯组件设置于所述内腔与所述气体通道的连通处；所述驱动机构与所述压力调节阀芯组件连接，所述驱动机构用于驱动所述压力调节阀芯组件运动，以使所述压力调节阀芯组件调节所述气体通道的通气开度。上述方案可以解决压力调节阀芯组件与壳体在连接处密封失效时造成压力调节装置调压失效的问题。
本发明授权半导体工艺设备及其压力调节装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的压力调节装置（700），其特征在于，包括壳体（100）、压力调节阀芯组件（200）和驱动机构（300），其中： 所述壳体（100）具有连通设置的内腔（110）和气体通道（111），所述气体通道（111）开设有进气口（120）和排气口（130），所述进气口（120）用于与所述半导体工艺设备的排气管道（400）连通，所述排气口（130）与厂务端连通，所述壳体（100）的其它部分均与外部环境隔绝；所述驱动机构（300）设于所述内腔（110）中，所述压力调节阀芯组件（200）设置于所述内腔（110）与所述气体通道（111）的连通处；所述驱动机构（300）与所述压力调节阀芯组件（200）连接，所述驱动机构（300）用于驱动所述压力调节阀芯组件（200）运动，以使所述压力调节阀芯组件（200）调节所述气体通道（111）的通气开度。
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