财团法人金属工业研究发展中心庄闵钧获国家专利权
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龙图腾网获悉财团法人金属工业研究发展中心申请的专利跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116203857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111449831.3，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法是由庄闵钧;詹家铭;林秋丰;吕育廷;范智文;张振晖设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法。制程精度监控系统包括电化学加工设备、放电加工设备、存储单元以及处理单元。电化学加工设备用以对加工件先进行电化学加工制程。放电加工设备用以对加工件接续进行放电加工制程。处理单元用以执行线性回归模型，以估测加工件的第一移除面积。处理单元用以执行放电加工精度预测模型，以估测加工件的第二移除面积。处理单元根据第一移除面积以及第二移除面积调整放电电压以及放电电流的至少其中之一。
本发明授权跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法在权利要求书中公布了：1.一种制程精度监控系统，其特征在于，包括： 电化学加工设备，用以对加工件先进行电化学加工制程； 放电加工设备，用以对所述加工件接续进行放电加工制程； 存储单元，用以存储线性回归模型以及放电加工精度预测模型；以及 处理单元，耦接所述电化学加工设备、所述放电加工设备以及所述存储单元， 其中所述处理单元用以检测所述电化学加工设备在所述电化学加工制程中的工作电压以及工作电流，并且执行所述线性回归模型，以估测所述加工件的第一移除面积， 其中所述处理单元用以检测所述放电加工设备在所述放电加工制程中的放电电压以及放电电流，并且执行所述放电加工精度预测模型，以估测所述加工件的第二移除面积， 其中所述处理单元根据所述第一移除面积以及所述第二移除面积调整所述放电电压以及所述放电电流的至少其中之一。
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