北京北方华创微电子装备有限公司孙妍获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体热处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114156210B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111416347.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体热处理设备是由孙妍;刘科学;吴艳华;位思梦;李元志;郭信鸽设计研发完成，并于2021-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体热处理设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体热处理设备，涉及半导体制造技术领域。该半导体热处理设备，包括炉体、供气管汇、进气管和混合腔，混合腔围绕炉体。供气管汇与混合腔连通，且供气管汇用于向混合腔内注入工艺气体。进气管用于连接炉体和混合腔，且混合腔内的工艺气体可通过进气管由混合腔进入炉体内。该方案能解决晶圆表面薄膜均匀性差的问题。
本发明授权半导体热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体热处理设备，其特征在于，包括炉体100、供气管汇200、进气管300和混合腔400，所述混合腔400围绕所述炉体100设置； 所述供气管汇200与所述混合腔400连通，且所述供气管汇200用于向所述混合腔400内注入工艺气体； 所述进气管300用于连接所述炉体100和所述混合腔400，且所述混合腔400内的工艺气体可通过所述进气管300由所述混合腔400进入所述炉体100内。
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