北京航天微电科技有限公司于海洋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航天微电科技有限公司申请的专利一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114006598B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111267917.4，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器是由于海洋;张恒;易宇;倪烨;袁燕;张智欣;闫鑫;陈长娥;段英丽;时鹏程;陈晓阳设计研发完成，并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器在说明书摘要公布了：本发明涉及一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括：依次层叠设置的图形化后的第二电极层、图形化后的压电层、图形化后的第一电极层和衬底；衬底上布设多个散热盲孔，每个散热盲孔内填充有导热散热材料，并在每个散热盲孔内的导热散热材料的上方填充高阻材料，形成全反射结构，图形化后的第一电极层覆设在所有散热盲孔的开口上。在衬底上进行全反射结构的制备，并在每个散热盲孔内填充导热散热材料和高阻材料，使本申请的一种薄膜体声波谐振器，在维持原本高Q值的同时，还解决传统薄膜体声波谐振器因导散热能力不足而产生的温度影响，且结构可靠性强，利于集成，制备工艺简单。
本发明授权一种薄膜体声波谐振器、制备方法和薄膜体声波滤波器在权利要求书中公布了：1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：图形化后的第二电极层、图形化后的压电层、图形化后的第一电极层和衬底； 所述图形化后的第二电极层、所述图形化后的压电层、所述图形化后的第一电极层和所述衬底依次层叠设置； 所述衬底上布设多个散热盲孔，在每个散热盲孔内填充导热散热材料和高阻材料，且所述高阻材料在所述导热散热材料的上方，形成全反射结构，所述图形化后的第一电极层覆设在所有散热盲孔的开口上； 其中，根据待谐振的声波的波长计算得到散热盲孔的分布、以及散热盲孔的深度。
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