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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695175B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111084342.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及方法是由郭基荣;李炫浩设计研发完成，并于2021-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够通过对基板的表面和背面高效地进行清洗处理来提高生产率的基板处理装置及方法。所述基板处理装置包括：处理模块，包括支承基板的基板支承部、翻转所述基板的翻转部、以及用于处理所述基板的处理部；以及传送模块，向所述处理模块传送基板，其中，所述传送模块将第一面朝上的基板引入到所述处理模块中并安置在所述翻转部上，所述翻转部翻转所述基板以使第二面朝上，并将经翻转的基板提供给所述基板支承部，所述处理部对安置在所述基板支承部上的基板的第二面进行第一处理，所述翻转部翻转经所述第一处理的基板以使第一面朝上，所述传送模块将所述第一面朝上的基板从所述处理模块取出，并将所述第一面朝上的基板再次引入到所述处理模块中并安置在所述基板支承部上，以及所述处理部对安置在所述基板支承部上的基板的第一面进行第二处理。

本发明授权基板处理装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置：包括 处理模块，包括支承基板的基板支承部、翻转所述基板的翻转部、以及用于处理所述基板的处理部，所述翻转部设置在所述处理模块的腔室中；以及 传送模块，向所述处理模块传送所述基板， 其中，所述传送模块将第一面朝上的所述基板引入到所述处理模块中并安置在所述翻转部上， 所述翻转部翻转所述基板以使所述基板的第二面朝上，并将经翻转的所述基板安置在所述基板支承部上， 所述处理部对安置在所述基板支承部上的所述基板的所述第二面进行第一处理， 所述翻转部从所述基板支承部取走经所述第一处理的所述基板，并且翻转经所述第一处理的所述基板以使所述第一面朝上， 所述传送模块将所述第一面朝上的所述基板从所述处理模块取出，并将所述第一面朝上的所述基板再次引入到所述处理模块中并安置在所述基板支承部上，以及 所述处理部对安置在所述基板支承部上的所述基板的所述第一面进行第二处理。

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