上海微电子装备(集团)股份有限公司文静获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利晶片盒解锁系统和光刻系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115732374B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111013390.2，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权晶片盒解锁系统和光刻系统是由文静;周美君;张阔峰;张德龙;朱正平;姜杰设计研发完成，并于2021-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片盒解锁系统和光刻系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶片盒解锁系统和光刻系统。所述晶片盒解锁系统包括运动承载装置、晶片盒和解锁机构，所述运动承载装置中，轴承座与移动平台固定连接，轴承座上的卡槽中至少嵌设有一个轴承，轴承的内圈环绕并支撑丝杆，电机与丝杆连接以驱动丝杆沿长度方向运动，轴承和移动平台在丝杆的带动下运动，其中，每个轴承具有朝向解锁机构一侧且与卡槽内壁相对的第一端面，至少一个轴承的第一端面与相应的卡槽内壁之间设置有弹性件。如此，弹性件可以缓解丝杆受到的反作用力，避免丝杆变形或卡死，有助于提高晶片盒和解锁机构对接的可靠性。光刻系统包括上述的晶片盒解锁系统。
本发明授权晶片盒解锁系统和光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种晶片盒解锁系统，其特征在于，包括运动承载装置、晶片盒以及解锁机构，所述运动承载装置承载所述晶片盒朝所述解锁机构运动直到所述晶片盒和所述解锁机构对接，所述运动承载装置包括： 移动平台； 丝杆； 至少一个轴承和支撑所述轴承的轴承座，所述轴承座与所述移动平台固定连接，所述轴承的内圈环绕并支撑所述丝杆；以及 电机，与所述丝杆连接，以驱动所述丝杆沿长度方向运动，而所述轴承和所述移动平台在所述丝杆的带动下运动； 其中，每个所述轴承均嵌设于所述轴承座上的卡槽中，且具有朝向所述解锁机构一侧且与所述卡槽内壁相对的第一端面，至少一个所述轴承的所述第一端面与相应的所述卡槽内壁之间设置有弹性件。
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