上海微电子装备(集团)股份有限公司冯建斌获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利多光斑零位偏差标定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115561969B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110750603.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权多光斑零位偏差标定方法是由冯建斌;张建新设计研发完成，并于2021-07-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本多光斑零位偏差标定方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种多光斑零位偏差标定方法，包括：提供基板，所述基板上具有至少四个测量点；调焦调平系统将同一光束依次投影到每个所述测量点上进行第一次测量，所述光束包含至少两个测量光斑，每次投影至所述测量点上时，同一个所述测量光斑与所述测量点对准，且至少获取一个所述测量光斑测量到的所述基板上对应位置的第一位置信息；将所述基板水平旋转180°，至少获取一个所述测量光斑测量到的所述基板上对应位置的第二位置信息；利用每个所述测量点对应的所述第一位置信息和所述第二位置信息计算出每个所述测量光斑的零位偏差值；本发明提高了多光斑的零位偏差的标定精度。
本发明授权多光斑零位偏差标定方法在权利要求书中公布了：1.一种多光斑零位偏差标定方法，其特征在于，包括： 提供基板，所述基板上具有至少四个测量点； 调焦调平系统将同一光束依次投影到每个所述测量点上进行第一次测量，所述光束包含至少两个测量光斑，每次投影至所述测量点上时，同一个所述测量光斑与所述测量点对准，且至少获取一个所述测量光斑测量到的所述基板上对应位置的第一位置信息； 将所述基板水平旋转180°，所述调焦调平系统将所述光束依次投影到每个所述测量点上进行第二次测量，每次投影至所述测量点上时，同一个所述测量光斑与所述测量点对准，且至少获取一个所述测量光斑测量到的所述基板上对应位置的第二位置信息； 利用每个所述测量点对应的所述第一位置信息和所述第二位置信息计算出每个所述测量光斑的零位偏差值。
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