顶极科技股份有限公司林权瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉顶极科技股份有限公司申请的专利一种用于半导体制程零配件的质变检测的数据处理方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115032182B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110341965.7，技术领域涉及：G01N21/65；该发明授权一种用于半导体制程零配件的质变检测的数据处理方法和系统是由林权瑞;沈峰民;苏鸿嘉设计研发完成，并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体制程零配件的质变检测的数据处理方法和系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种用于半导体制程零配件的质变检测的数据处理方法和系统，所述方法具有下列步骤：取得一半导体制程零配件的多个拉曼光谱数据，以及对拉曼光谱数据实施多个运算处理后获得用以表示半导体制程零配件的老化程度的第一质变状态模拟参数及用以表示半导体制程零配件的内部分子结构变异程度的第二质变状态模拟参数。
本发明授权一种用于半导体制程零配件的质变检测的数据处理方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体制程零配件的质变检测的数据处理方法，其特征在于，包括： 取得一半导体制程零配件的多个拉曼光谱数据；及 对所述拉曼光谱数据实施多个运算处理，以得到用以表示所述半导体制程零配件的老化程度的第一质变状态模拟参数及用以表示所述半导体制程零配件的内部分子结构变异程度的第二质变状态模拟参数；所述拉曼光谱数据是所述半导体制程零配件以不同的半导体制程零配件的质变检测系统检测时所测得，所述运算处理包括： 对取得的所述拉曼光谱数据实施至少二个维度的对齐运算，以消除所述半导体制程零配件于所述不同的半导体制程零配件的质变检测系统的检测结果的誤差不一致； 对经过所述对齐运算后的所述拉曼光谱数据实施导数运算，以实施各个所述拉曼光谱数据的所有谱峰彼此间的差距在不同维度上的比值运算，以得到能够表示各个所述拉曼光谱数据的所有谱峰强度值随着拉曼光谱偏移的变化而变化的第一参数； 对所述第一参数实施尺度缩放及正规化处理，以得到第二参数； 对所述第二参数实施降维运算，以得到第三参数；及 对所述第三参数实施标准偏差运算，以得到平均值和离散值； 其中，所述第一质变状态模拟参数关连于所述平均值，且所述第二质变状态模拟参数关连于所述离散值。
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